[實用新型]顆粒捕捉器有效
| 申請號： | 201820059666.8 | 申請日： | 2018-01-15 |
| 公開（公告）號： | CN208130712U | 公開（公告）日： | 2018-11-23 |
| 發明（設計）人： | 黎微明;李翔;胡彬;左敏 | 申請（專利權）人： | 江蘇微導納米裝備科技有限公司 |
| 主分類號： | B01D46/24 | 分類號： | B01D46/24 |
| 代理公司： | 南京知識律師事務所 32207 | 代理人： | 朱少華 |
| 地址： | 214028 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 導流器 顆粒捕捉器 捕捉器 捕捉器殼體 出氣口 濾芯 進氣口 氧化鋁粉末顆粒 本實用新型 螺旋葉片 氣體行程 三甲基鋁 真空泵 抽氣 內壁 吸附 密封 抽出 捕捉 釋放 污染 | ||
1.顆粒捕捉器，其特征在于：其包括捕捉器殼體(1)、捕捉器蓋(2)、導流器外殼(3)、導流器(4)以及濾芯(5)；所述導流器外殼(3)內設有導流器(4)，所述導流器(4)外側設有若干增加氣體行程的螺旋葉片，導流器外殼(3)上設有供氣體流通的小孔。
2.根據權利要求1所述的顆粒捕捉器，其特征在于：所述導流器外殼(3)與濾芯(5)并排放置，總進氣口(6)設置在導流器外殼(3)的上部，總出氣口(7)設置在濾芯(5)的上部。
3.根據權利要求1或2所述的顆粒捕捉器，其特征在于：所述導流器(4)上設有供氣體流通的小孔；所述導流器外殼(3)的底部設有供氣體流通的小孔。
4.根據權利要求3所述的顆粒捕捉器，其特征在于：所述導流器(4)為焊有法蘭的中空不銹鋼管，不銹鋼管上設有小孔，氣體可經不銹鋼管上的小孔由流入中空的不銹鋼管內或由中空的不銹鋼管內流出。
5.根據權利要求4所述的顆粒捕捉器，其特征在于：所述氣體在導流器(4)內與空氣中的水分反應生成氧化鋁粉末，氣體經由導流器外殼(3)底部的小孔流出，氧化鋁粉末粘附在濾芯(5)的外壁，氣體從濾芯(5)上小孔內被抽出，由總出氣口(7)排出。
6.根據權利要求4所述的顆粒捕捉器，其特征在于：捕捉器蓋(2)設置在捕捉器殼體(1)上部，導流器外殼(3)及濾芯(5)從捕捉器蓋(2)內伸出，捕捉器蓋(2)連接顆粒捕捉器及機器設備。
7.根據權利要求4所述的顆粒捕捉器，其特征在于：底腳(8)通過螺紋連接在捕捉器殼體(1)的底部，松掉捕捉器蓋與機器設備連接的卡鉗，轉動底腳(8)，將底腳(8)上調,此時顆粒捕捉器底部的滾輪接觸地面，捕捉器蓋與殼體脫開。
8.采用權利要求1所述的顆粒捕捉器的原子層沉積設備，其特征在于：原子層沉積設備的尾氣出口連接顆粒捕捉器。
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