[實用新型]一種用于硅片的多重超聲清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820056518.0
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN207971157U
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王春佳
• 申請（專利權(quán)）人: 江西福璟新能源科技有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B1/04;B08B13/00
• 代理公司: 北京久維律師事務(wù)所 11582
• 代理人: 邢江峰

1.一種用于硅片的多重超聲清洗裝置，包括清洗池（1），其特征在于：所述清洗池（1）外壁設(shè)有超聲波發(fā)生器（2），所述清洗池（1）內(nèi)腔底部設(shè)有固定臺（3），所述固定臺（3）內(nèi)部設(shè)有限位槽（4），所述限位槽（4）內(nèi)部設(shè)有振動片（5），所述振動片（5）與限位槽（4）之間設(shè)有復(fù)位彈簧（6），所述清洗池（1）頂部設(shè)有工作臺（7），所述工作臺（7）與清洗池（1）之間設(shè)有固定架（8），所述工作臺（7）頂部設(shè)有傳動電機(jī)（9），所述工作臺（7）底部設(shè)有連接板（10），所述連接板（10）與傳動電機(jī)（9）之間設(shè)有傳動螺桿（11），所述傳動螺桿（11）兩側(cè)均設(shè)有收縮桿（12），所述連接板（10）底部設(shè)有放料倉（13），所述放料倉（13）與連接板（10）之間設(shè)有連接桿（14），所述放料倉（13）內(nèi)腔底部設(shè)有限位塊（15），所述限位塊（15）內(nèi)部設(shè)有放置槽（16），所述限位塊（15）一側(cè)設(shè)有清洗球（17），所述清洗球（17）外壁設(shè)有清洗板（18），所述清洗板（18）外壁設(shè)有凸出點（19），所述清洗球（17）與放料倉（13）之間設(shè)有轉(zhuǎn)動軸承（20）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的多重超聲清洗裝置，其特征在于：所述連接板（10）上設(shè)有通孔，所述通孔與傳動螺桿（11）相適配，所述傳動螺桿（11）頂部與傳動電機(jī)（9）輸出軸固定連接，所述傳動螺桿（11）底端設(shè)有限位凸塊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的多重超聲清洗裝置，其特征在于：所述固定臺（3）與放置槽（16）相適配，所述限位槽（4）與振動片（5）相適配。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的多重超聲清洗裝置，其特征在于：所述放料倉（13）和清洗球（17）均與轉(zhuǎn)動軸承（20）固定連接，所述清洗球（17）和清洗板（18）均由橡膠材料制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的多重超聲清洗裝置，其特征在于：所述清洗板（18）與清洗球（17）外壁固定連接，所述清洗板（18）沿清洗球（17）中心點呈十字交叉形設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的多重超聲清洗裝置，其特征在于：所述收縮桿（12）一端與工作臺（7）固定連接，所述收縮桿（12）另一端與連接板（10）固定連接。