[實用新型]一種霍爾薄膜樣品裝夾結構

有效

• 申請號: 201820052245.2
• 申請日: 2018-01-12
• 公開（公告）號: CN207752046U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 繆向水;童浩;王愿兵;馬國鷺;黃暉;雷永利;陳曉;張雨;喬偉;房山;林沖
• 申請（專利權）人: 武漢嘉儀通科技有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/06
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 張濤

本實用新型提供了一種霍爾薄膜樣品裝夾結構，包括PCB樣品板和金手指卡槽，所述PCB樣品板一端與金手指卡槽連接，所述PCB樣品板另一端的上表面上設有四個貼片螺母和薄膜樣品放置區，四個所述貼片螺母分別通過四根導電線與放置在所述薄膜樣品放置區的薄膜樣品的四角一一對應連接。該霍爾薄膜樣品裝夾結構通過導電線取代現有的探針作為電極，有效避免了霍爾薄膜樣品在裝夾中其薄膜層易損壞而影響測量精度和穩定性的問題，且使用方便。

技術領域

本實用新型屬于半導體測試技術領域，具體涉及一種霍爾薄膜樣品裝夾結構。

背景技術

霍爾系數是了解半導體材料電學特性的一項重要參數，目前，在霍爾系數薄膜材料測量中，一般是將薄膜材料鍍在矩形玻璃基底上形成一層薄膜層，并通過四個探針與薄膜層接觸導電進行霍爾系數的測量；然而，由于薄膜材料鍍在矩形玻璃基底上薄膜層很薄，在霍爾樣品裝夾中探針尖很容易劃傷薄膜層露出基底，從而影響測量精度及穩定性，因此需設計一種新的針對薄膜樣品測量的裝夾方式。

實用新型內容

本實用新型的目的是克服現有對于霍爾薄膜樣品的霍爾系數測量中，薄膜層很薄，易被探針尖損壞而影響測量精度及穩定性的問題。

為此，本實用新型提供了一種霍爾薄膜樣品裝夾結構，包括PCB樣品板和金手指卡槽，所述PCB樣品板一端與金手指卡槽連接，所述PCB樣品板另一端的上表面上設有四個貼片螺母和薄膜樣品放置區，四個所述貼片螺母分別通過四根導電線與放置在所述薄膜樣品放置區的薄膜樣品的四角一一對應連接。

作為實施方式之一，四個所述貼片螺母與薄膜樣品對應的四角之間的距離相等。

作為實施方式之一，四個所述貼片螺母構成矩形，所述薄膜樣品放置區位于該矩形中心。

作為實施方式之一，所述導電線為銀線。

作為實施方式之一，所述導電線兩端與所述貼片螺母和薄膜樣品之間通過焊接固定。

作為實施方式之一，所述導電線兩端與所述貼片螺母和薄膜樣品之間通過導電銀膠粘接固定。

作為實施方式之一，所述PCB樣品板與所述金手指卡槽之間可拆卸插接固定。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果：本實用新型提供的這種霍爾薄膜樣品裝夾結構通過導電線取代現有的探針作為電極，有效避免了霍爾薄膜樣品在裝夾中其薄膜層易損壞而影響測量精度和穩定性的問題。

以下將結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。

附圖說明

圖1是本實用新型霍爾薄膜樣品裝夾結構的示意圖。

附圖標記說明：1、金手指卡槽；2、PCB樣品板；3、貼片螺母；4、薄膜樣品放置區；5、導電線。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制；在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。