[實(shí)用新型]激光制絨裝備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820043468.2
• 申請(qǐng)日: 2018-01-11
• 公開（公告）號(hào): CN207637831U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮愛新;賈天代;陳歡;劉勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 溫州大學(xué);溫州大學(xué)激光與光電智能制造研究院
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L31/0236
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 王玉國

本實(shí)用新型涉及激光制絨裝備，包含底座、硅片輸送機(jī)構(gòu)、硅片上下料機(jī)構(gòu)、激光鏡座支撐機(jī)構(gòu)以及激光并行加工系統(tǒng)，硅片輸送機(jī)構(gòu)置于底座上，硅片上下料機(jī)構(gòu)和激光鏡座支撐機(jī)構(gòu)圍繞硅片輸送機(jī)構(gòu)間隔分布于底座上，激光鏡座支撐機(jī)構(gòu)上安裝激光并行加工系統(tǒng)。利用硅片上下料機(jī)構(gòu)對(duì)硅片自動(dòng)上下料，通過硅片輸送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)硅片間歇性轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化加工；激光并行加工系統(tǒng)對(duì)硅片進(jìn)行刻蝕，在硅片表面形成陷光結(jié)構(gòu)；通過將硅片劃分為多個(gè)區(qū)域，實(shí)現(xiàn)大范圍的加工；利用多組掃描振鏡對(duì)劃分區(qū)域進(jìn)行并行加工，提高制絨效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種激光制絨裝備，屬于激光加工裝備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

目前，近年來光伏發(fā)電越來越普及，晶硅太陽能電池的市場需求量不斷增加。在晶硅電池的制造過程中，為了減少硅片表面的反射率，增加了制絨處理環(huán)節(jié)。在現(xiàn)有的制絨方法中，化學(xué)腐蝕制絨因?yàn)槌杀镜停挥米鞔笠?guī)模生產(chǎn)。但是化學(xué)腐蝕制絨對(duì)硅片表面的減反效果并不是十分明顯。激光制絨技術(shù)具有非接觸式加工、絨面形貌易于控制等優(yōu)點(diǎn)，可以有效地降低硅片表面反射率。化學(xué)腐蝕制絨的裝備應(yīng)用已經(jīng)十分普遍，將大量的硅片插入片盒內(nèi)，同時(shí)浸入腐蝕液中進(jìn)行腐蝕。激光刻蝕需要對(duì)硅片進(jìn)行逐一加工，因此化學(xué)腐蝕制絨裝備并不適用于激光制絨。而且由于激光刻蝕硅片需要單片加工，導(dǎo)致了制絨效率十分低下，影響了激光制絨技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種激光制絨裝備。

本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

激光制絨裝備，特點(diǎn)是：包含底座、硅片輸送機(jī)構(gòu)、硅片上下料機(jī)構(gòu)、激光鏡座支撐機(jī)構(gòu)以及激光并行加工系統(tǒng)，硅片輸送機(jī)構(gòu)置于底座上，硅片上下料機(jī)構(gòu)和激光鏡座支撐機(jī)構(gòu)圍繞硅片輸送機(jī)構(gòu)間隔分布于底座上，激光鏡座支撐機(jī)構(gòu)上安裝激光并行加工系統(tǒng)。

進(jìn)一步地，上述的激光制絨裝備，其中，所述硅片輸送機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)盤和硅片固定裝置，動(dòng)力單元與轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤在底座上做間歇性圓周運(yùn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有定位孔，硅片固定裝置通過定位孔安裝于轉(zhuǎn)盤上，硅片固定裝置上設(shè)有卡槽。

進(jìn)一步地，上述的激光制絨裝備，其中，所述硅片上下料機(jī)構(gòu)包括機(jī)構(gòu)支撐架、氣動(dòng)伸縮桿、滑塊、吸盤、絲杠以及導(dǎo)軌，機(jī)構(gòu)支撐架上安裝導(dǎo)軌，滑塊置于導(dǎo)軌上，絲杠與滑塊傳動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)其沿導(dǎo)軌直線運(yùn)動(dòng)，滑塊上安裝氣動(dòng)伸縮桿，氣動(dòng)伸縮桿的端部安裝吸盤。

進(jìn)一步地，上述的激光制絨裝備，其中，所述激光鏡座支撐機(jī)構(gòu)包含支撐板和鏡座固定板，鏡座固定板以滑動(dòng)連接方式安裝于支撐板上，可在其上移動(dòng)，鏡座固定板上設(shè)有鏡座孔以及用于激光束通過的激光入射孔。

進(jìn)一步地，上述的激光制絨裝備，其中，所述激光并行加工系統(tǒng)包含激光器、擴(kuò)束鏡、分光鏡模組、反光鏡模組以及掃描振鏡，激光器的光路輸出端布置擴(kuò)束鏡，擴(kuò)束鏡的輸出光路上布置分光鏡模組，分光鏡模組的輸出光路上布置反光鏡模組，反光鏡模組的反射光路上布置掃描振鏡。

進(jìn)一步地，上述的激光制絨裝備，其中，所述分光鏡模組包括多組分光鏡，其數(shù)量與硅片劃分區(qū)域的個(gè)數(shù)相等。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有顯著的優(yōu)點(diǎn)和有益效果，具體體現(xiàn)在以下方面：

①本實(shí)用新型利用硅片上下料機(jī)構(gòu)對(duì)硅片自動(dòng)上下料，通過硅片輸送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)硅片間歇性轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化加工；

②激光并行加工系統(tǒng)對(duì)硅片進(jìn)行刻蝕，在硅片表面形成陷光結(jié)構(gòu)；通過將硅片劃分為多個(gè)區(qū)域，實(shí)現(xiàn)大范圍的加工；

③利用多組掃描振鏡對(duì)劃分區(qū)域進(jìn)行并行加工，提高制絨效率；解決了因?yàn)榧す饪涛g必須為單片刻蝕帶來的制絨效率低的問題，從而顯著提高激光制絨的生產(chǎn)效率，促進(jìn)激光制絨的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

附圖說明

圖1：本實(shí)用新型裝備的結(jié)構(gòu)示意圖；