[實用新型]曝光設備

有效

• 申請號: 201820041264.5
• 申請日: 2018-01-10
• 公開（公告）號: CN207867214U
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 褚恒巖;鐘明云
• 申請（專利權）人: 江西聯創電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 何世磊

1.一種曝光設備，包括機架、設于機架的初定位夾具、曝光臺、曝光燈、CCD相機、機械手及電控系統，機架側邊設有入料口，初定位夾具臨近所述入料口設置并夾持從入料口投入的治具，待曝光產品放置于治具上，機械手在初定位夾具與曝光臺之間運輸治具，曝光臺在機架內移動并將治具上的待曝光產品運輸至曝光燈處曝光，所述初定位夾具、曝光臺、曝光燈、CCD相機、及機械手均電連接所述電控系統；

其特征在于，所述初定位夾具包括一對齊結構，使得放置有待曝光產品的治具在其放置平面內的XY方向對齊。

2.根據權利要求1所述的曝光設備，其特征在于，所述機架還包括一平板，所述初定位夾具、曝光臺均設于平板上方，所述對齊結構包括：

兩相對設置定位板，固定于平板，每一定位板開設有定位口；

夾緊氣缸，朝向所述定位口設置；

定位套，設于夾緊氣缸伸縮桿的末端，隨伸縮桿的移動靠近或遠離定位口，定位并夾緊所述治具；

Y向定位桿，固定于機架并設于兩定位板之間的通道靠近曝光臺的一側；

一傳送機構，設于兩定位板之間，將所述治具在通道內傳送并觸碰所述Y向定位桿；

治具感應器，臨近Y向定位桿設置，檢測治具觸碰Y向定位桿，治具感應器電連接電控系統。

3.根據權利要求2所述的曝光設備，其特征在于，所述傳送機構為皮帶轉動機構。

4.根據權利要求2所述的曝光設備，其特征在于，所述每一定位板開設有兩個定位口，對應的每一定位板的一側設置有兩個定位套及兩個夾緊氣缸朝向所述定位口。

5.根據權利要求1或2所述的曝光設備，其特征在于，所述曝光臺包括：

Y向移動模組，設于機架，曝光燈、CCD相機均設于Y向移動模組移動方向的上方；

X向移動模組，設于Y向移動模組，隨Y向移動模組在曝光臺的Y方向移動；

曝光座，設于X向移動模組，隨X向移動模組在曝光臺的X方向移動，所述曝光座上表面開設有真空吸槽，吸附放置于曝光座上的治具；

角度旋轉單元，設于X向移動模組與曝光座之間，使曝光座相對治具的初始放置平面呈夾角轉動，調整待曝光產品的平面角度。

6.根據權利要求5所述的曝光設備，其特征在于，所述角度旋轉單元包括：

多個旋轉角電機，環形排布于X向移動模組與曝光座之間，每一旋轉角電機的一端與X向移動模組接觸，另一端與曝光座底面接觸，調整曝光座與X向移動模組的間隔距離。

7.根據權利要求6所述的曝光設備，其特征在于，所述真空吸槽為多個，間隔排列于曝光座上表面，真空吸槽的底部與真空氣路系統連通。

8.根據權利要求7所述的曝光設備，其特征在于，所述機架上還設置有曝光臺定位傳感器，檢測曝光臺的位置，所述曝光臺定位傳感器與電控系統電連接。

9.根據權利要求5所述的曝光設備，其特征在于，所述CCD相機設于曝光座進入曝光燈之前的治具運輸通道范圍的上方，與曝光燈間隔固定于機架頂壁并朝向曝光臺設置，獲取曝光座上待曝光產品的圖像信息。

10.根據權利要求9所述的曝光設備，其特征在于，所述CCD相機為并列設置的兩個。