[實用新型]一種硅片浮動支撐機構

有效

• 申請號: 201820036640.1
• 申請日: 2018-01-10
• 公開（公告）號: CN207800573U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 崔羽;陽軍;吳會旭;李釗
• 申請（專利權）人: 蘇州聚晶科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/68
• 代理公司: 蘇州市指南針專利代理事務所(特殊普通合伙) 32268
• 代理人: 李先鋒

1.一種硅片浮動支撐機構，其特征在于包括支架、氣缸、斜面推頭、連接桿、放料板、定位片、避讓槽、沿所述斜面推頭對稱布置數量為4件的支撐夾緊機構，所述的氣缸位于支架下端，所述的氣缸與支架通過螺栓相連，所述的斜面推頭位于氣缸上端且貫穿支架，所述的斜面推頭與氣缸螺紋相連，所述的連接桿位于斜面推頭上端，所述的連接桿與斜面推頭螺紋相連，所述的放料板位于連接桿上端，所述的放料板與連接板螺紋相連，所述的定位片位于放料板側面，所述的定位片與放料板通過螺栓相連，所述的避讓槽數量為4件，沿放料板對稱布置；

所述的支撐夾緊機構還包括導套、第一導桿、楔形塊、彈簧、支撐桿、L形護套，所述的導套位于支架上端，所述的導套與支架通過螺栓相連，所述的第一導桿貫穿導套，所述的第一導桿可以沿導套左右滑動，所述的楔形塊位于第一導桿外側且位于支架上端，所述的楔形塊與第一導桿螺紋相連且與支架通過螺栓相連，所述的彈簧位于第一導桿外側且位于楔形塊和導套之間，所述的支撐桿位于楔形塊上端，所述的支撐桿與楔形塊焊接相連，所述的L形護套位于支撐桿頂部，所述的L形護套護與支撐桿粘接相連。

2.如權利要求1所述的硅片浮動支撐機構，其特征在于所述的連接桿數量為3件，均布于斜面推頭。

3.如權利要求1所述的硅片浮動支撐機構，其特征在于所述的斜面推頭還設有第二導桿，所述的第二導桿位于斜面推頭下端且貫穿支架，所述的第二導桿與斜面推頭螺紋相連，所述的第二導桿可以沿支架上下滑動。

4.如權利要求1所述的硅片浮動支撐機構，其特征在于所述的楔形塊還設有滑軌，所述的滑軌位于支架上端且貫穿楔形塊，所述的滑軌與支架通過螺栓相連，所述的楔形塊可以沿滑軌左右滑動。

5.如權利要求1所述的硅片浮動支撐機構，其特征在于所述的第一導桿還設有限位頭，所述的限位頭與第一導桿一體相連。

6.如權利要求5所述的硅片浮動支撐機構，其特征在于所述的限位頭還設有防撞墊，所述的防撞墊與限位頭粘接相連。