[實用新型]一種可換輥的紫外納米壓印裝置

有效

• 申請號: 201820035487.0
• 申請日: 2018-01-10
• 公開（公告）號: CN207663210U
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 谷巖;周巖;易正發;董青青;張群;李景鵬;鄭恭承;戴得恩;馮開拓;曹東旭;王點正;田旭;康洺碩;楊繼犇;張成龍
• 申請（專利權）人: 長春工業大學
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種可換輥的紫外納米壓印裝置，該裝置包括外箱、放卷輥、收卷輥、支撐輥、背輥、涂膠裝置、換輥裝置、微調裝置、紫外燈、襯底。首先，襯底由放卷輥釋放，涂膠裝置在其表面進行涂膠，襯底在收卷輥的作用下移動到換輥裝置與背輥之間，再通過微調裝置調節壓印輥與背輥之間的距離從而施加合適的壓力，然后經由紫外燈進行固化，固化完畢后由收卷輥收卷，如果進行下一次壓印直接把襯底固定在放卷輥上，不需要拆換輥，直接轉動換輥裝置然后固定壓印輥再次進行壓印。本實用新型在壓印不同圖案時不用拆換壓印輥，可直接轉動換輥裝置，避免了拆卸更換模板和對壓印輥進行繁瑣且耗時的調整，降低了成本，并大大的提高了生產效率。

技術領域

本實用新型涉及納米壓印領域，尤指一種可換輥的紫外納米壓印裝置。

背景技術

自從華裔科學家Stephen Y. Chou教授在1995年提出納米壓印概念至今，納米壓印技術已經發展為科學革命中的核心納米技術之一，因其相較于傳統光刻技術，能夠實現廉價、快速的制造微納圖案，因此在半導體、生物工程等方面具有很大的市場前景。

目前，納米壓印技術已經形成了熱壓印、軟刻蝕和紫外壓印等三種主要的類型，傳統的納米壓印方法，在一種微納圖案壓印完畢后需要更換模板之后才能壓印下一種圖案，頻繁的拆卸更換模板費時費力，降低了壓印的生產率，嚴重的影響了其工業化生產。除此之外，在更換的過程中難免會產生誤差，又需要對壓印輥進行繁瑣且耗時的調整使其水平并與襯底對齊，否則將會導致壓印的圖案分辨率降低甚至失敗。這些都導致了壓印時間長、成本高等問題。

發明內容

本實用新型的目的是為了解決在輥對輥紫外納米壓印過程中壓印完一種微納圖案后需要拆卸輥，換上另一種微納圖案的壓印輥進行壓印時壓印時間長、成本高等問題，提供了一種可換輥的紫外納米壓印裝置。

根據本實用新型的目的提出的一種可換輥的紫外納米裝置，其特征在于，包括外箱、放卷輥、涂膠裝置、支撐輥、背輥、換輥裝置、微調裝置、紫外燈、收卷輥、襯底、伺服電機一和伺服電機二，其中，放卷輥與伺服電機二聯接并固定在外箱上，襯底包覆在放卷輥與收卷輥上，涂膠裝置通過螺釘固定在外箱上，支撐輥通過軸承配合在外箱上，背輥通過軸承配合在外箱上，紫外燈通過螺釘固定在外箱上，收卷輥與伺服電機一聯接并固定在外箱上，換輥裝置穿過外箱通過軸承連接固定在微調裝置上，微調裝置通過螺釘固定于外箱上。

根據本實用新型的目的提出的一種可換輥的紫外納米裝置，其特征在于，所述的外箱包括：底板、前箱體、后箱體、上蓋板，其中底板水平放置在水平面上，前箱體與后箱體通過螺釘固定在底板上，上蓋板通過螺釘固定在前箱體上。

根據本實用新型的目的提出的一種可換輥的紫外納米裝置，其特征在于，所述的換輥裝置包括：旋轉軸、轉盤一、壓印輥一、轉盤二、固定裝置一、固定裝置二、壓印輥二和壓印輥三，其中，壓印輥一、壓印輥二、壓印輥三裝卡在轉盤一與轉盤二之間，固定裝置一與固定裝置二裝配在上蓋板上并卡住轉盤一，旋轉軸通過軸承固定在微調裝置上。

根據本實用新型的目的提出的一種可換輥的紫外納米裝置，其特征在于，所述的固定裝置一與固定裝置二完全相同，內部裝有彈簧，使得固定裝置一與固定裝置二始終卡住轉盤一。

根據本實用新型的目的提出的一種可換輥的紫外納米裝置，其特征在于，所述的微調裝置包括：外殼、滾珠絲杠、聯軸器、伺服電機三、滑塊和導軌，其中，外殼底部通過螺釘固定在外箱中的底板上，導軌通過螺釘固定在外殼上，滑塊裝卡在導軌上，伺服電機三通過螺釘固定在外殼頂部，聯軸器一端連接著伺服電機三，另一端與滾珠絲杠相連。

根據本實用新型的目的提出的一種可換輥的紫外納米裝置，其特征在于，所述的壓印輥一、壓印輥二、壓印輥三上均有不同的微結構，可以在涂膠的襯底上壓印出不同的微納圖案。