[實用新型]單腔循環連續式類金剛石涂層裝置

有效

• 申請號: 201820031773.X
• 申請日: 2018-01-09
• 公開（公告）號: CN207958497U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 郎文昌
• 申請（專利權）人: 溫州職業技術學院
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/06;C23C16/54;C23C16/26
• 代理公司: 溫州名創知識產權代理有限公司 33258
• 代理人: 陳加利

本實用涉及一種單腔循環連續式類金剛石涂層裝置，包括主腔體、主真空系統及類金剛石涂層工藝組件，主腔體設置有主腔室，主真空系統將主腔室進行真空處理，主腔體還設置有可開合的進料口，還包括轉盤、轉盤升降機構、轉盤轉動機構、進料腔室、類金剛石涂層工藝腔室及進料子腔室真空系統，轉盤轉動機構驅動轉盤水平轉動，將待鍍工件在進料腔室及類金剛石涂層工藝腔室之間傳遞，轉盤升降機構驅動轉盤升降，將進料腔室及類金剛石涂層工藝腔室在與主腔室聯通的狀態及獨立真空腔室的狀態之間切換，進料子腔室真空系統安裝于主腔體并將進料腔室進行真空處理。采用上述方案，本實用提供一種可在一個真空腔內實現低成本的環形循環連續式類金剛石涂層制備。

技術領域

本實用屬于真空鍍膜設備技術領域，具體涉及一種單腔循環連續式類金剛石涂層裝置。

背景技術

固體材料的摩擦磨損普遍存在于生產和生活的各個領域中，凡是相對運動的部件都存在著摩擦磨損。國內外的統計資料顯示，由摩擦而導致消耗掉的能源占全世界1/3一次能源，約有80％的機械零部件因為不斷的磨損而最終失效，約有50％以上的機械裝備惡性事故發生是起因于潤滑失效和過度磨損。材料表面的物理、化學和力學性質對材料的摩擦學性能產生重要的影響。將固體材料表面進行預處理后，再經過表面涂覆、表面改性或多種表面工程技術復合處理，改變固體表面的形態、化學成分、組織結構、機械強度和應力狀態等，可以獲得更好的力學與摩擦學性能。尤其，在表面工程技術中將薄膜材料應用于固體塊狀材料的減摩抗磨取得了許多重要的工業應用價值。因此，降低摩擦磨損的損耗，積極開發及使用新型的減摩抗磨潤滑薄膜材料具有極其重要的價值和意義。

類金剛石薄膜(Diamond-like carbon film)由于具有許多優異的物理、化學性能，如高硬度、低摩擦系數、優良的耐磨性、高介電常數、高擊穿電壓、寬帶隙、化學惰性和生物相容性等。經過多年的發展，DLC薄膜在很多領域的應用也已進入實用和工業化生產階段。

現有的真空鍍膜設備按照真空設備中真空腔的數目可分為單體式鍍膜機及連續式鍍膜設備。

現有技術中的類金剛石涂層制備裝置主要為單體式鍍膜機，其生產過程的工藝穩定性，生產效率低、人力成本高；而連續式真空鍍膜設備結構復雜，多個獨立的鍍膜腔需要配置多個高真空泵組，大量閘門的使用，增加了生產成本、生產時間、生產空間，復雜的設備增加了待鍍工件傳動的難度，多個腔體的存在也使增加了生產過程中故障維修的難度和成本，連續式鍍膜設備的高門檻大大提高了企業的使用成本；對于一些小尺寸的工件，連續式加工需要大量的人力裝、卸載，很難實現連續化生產。對于一些多面、異形的產品(如銑刀、汽車耐磨關鍵零部件)設計能夠實現自轉的特種鍍膜設備時，受真空門閥高成本及大型翻板閥或插板閥難加工、傳動過程的復雜、生產成本的限制，很難設計生產出能夠實用的量產機。目前尚未有連續式類金剛石涂層設備。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用的目的在于提供一種可在一個真空腔內實現對產品環形循環連續式鍍膜生產的低成本類金剛石涂層裝置。