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[實用新型]垂直度檢測裝置及垂直度檢測系統有效

專利信息
申請號: 201820020765.5 申請日: 2018-01-05
公開(公告)號: CN207798027U 公開(公告)日: 2018-08-31
發明(設計)人: 于祥升 申請(專利權)人: 青島鐳創光電技術有限公司
主分類號: G01B11/26 分類號: G01B11/26;G01C15/12
代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 代理人: 鄧超
地址: 266000 山東*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 擴束鏡 透明片 垂直度檢測裝置 激光器 垂直度檢測 本實用新型 二維調整架 待測樣品 平行面 激光測量技術 簡化操作過程 同軸設置 檢測面 平行度 檢測 擴束 射出 穿透 平行 激光 放大
【權利要求書】:

1.一種垂直度檢測裝置,其特征在于,包括激光器、二維調整架、透明片和擴束鏡,所述透明片的兩個平行面的平行度小于設定閾值;

所述激光器和所述擴束鏡同軸設置,所述透明片設置于所述激光器和所述擴束鏡之間;待測樣品固定在所述二維調整架上,所述透明片的一個平行面與所述待測樣品的檢測面緊密接觸;

所述激光器發出的激光穿透所述透明片的兩個平行面進入所述擴束鏡,經所述擴束鏡擴束放大后射出。

2.根據權利要求1所述的垂直度檢測裝置,其特征在于,所述激光器、所述透明片和所述擴束鏡豎直設置;

所述待測樣品固定在所述二維調整架上方,所述透明片的中心落在所述檢測面上,且所述透明片伸出所述二維調整架以及所述待測樣品外。

3.根據權利要求2所述的垂直度檢測裝置,其特征在于,所述垂直度檢測裝置還包括設置在所述擴束鏡上方的反射鏡,所述反射鏡用于調整從所述擴束鏡射出的激光的射出角度。

4.根據權利要求1所述的垂直度檢測裝置,其特征在于,所述激光器、所述透明片和所述擴束鏡水平設置。

5.根據權利要求1所述的垂直度檢測裝置,其特征在于,所述垂直度檢測裝置還包括電機;所述電機與所述激光器連接,用于帶動所述激光器旋轉。

6.根據權利要求1所述的垂直度檢測裝置,其特征在于,所述擴束鏡的放大倍率大于100。

7.根據權利要求1所述的垂直度檢測裝置,其特征在于,所述激光器包括固體激光器、半導體激光器、氣體激光器或染料激光器。

8.根據權利要求1-7任一項所述的垂直度檢測裝置,其特征在于,所述垂直度檢測裝置還包括設置有柜門的柜體;所述激光器、所述二維調整架、所述透明片和所述擴束鏡均設置在所述柜體內;所述柜體的一個側面設置有供激光射出的開口。

9.一種垂直度檢測系統,其特征在于,包括如上述權利要求1-8中任一項所述的垂直度檢測裝置,還包括光屏,所述光屏用于接收所述垂直度檢測裝置發出的激光。

10.根據權利要求9所述的垂直度檢測系統,其特征在于,所述垂直度檢測系統還包括CCD攝像機和上位機,所述上位機與所述CCD攝像機連接;

所述CCD攝像機用于拍攝所述光屏接收的激光光斑的位置圖像;所述上位機用于獲取所述位置圖像,并顯示與所述位置圖像對應的垂直度檢測結果。

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