[實用新型]一種工作介質供應系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820016567.1
• 申請日: 2018-01-05
• 公開（公告）號: CN207814946U
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發(fā)明（設計）人: 黃金海
• 申請（專利權）人: 上海弗川自動化技術有限公司
• 主分類號: F17D1/12
• 分類號: F17D1/12;F17D1/18
• 代理公司: 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297
• 代理人: 鄧文武

本實用新型公開了一種工作介質供應系統(tǒng)，包括工作介質輸入管路、工作介質輸出管路，擠壓氣體輸入管路，擠壓氣體輸出管路和儲存罐，工作介質輸入管路的輸出端伸入儲存罐液面上方，儲存罐頂端分別設置有擠壓氣體輸入口和擠壓氣體輸出口，工作介質輸出管路的輸入端伸入儲存罐底部，擠壓氣體輸入管路上依次設置有第三閥體，第四閥體，第五閥體，第一過濾器和第一壓力傳感器，擠壓氣體輸入管路的輸出端連接擠壓氣體輸入口，擠壓氣體輸出管路的輸入端連接擠壓氣體輸出口，擠壓氣體輸出管路上設置有第七閥體；本實用新型工作介質供應系統(tǒng)實現(xiàn)工作介質較大流量的穩(wěn)定輸送，可以供應12?18臺機器的同時使用。

技術領域

本實用新型涉及工作介質供應技術領域，尤其涉及一種工作介質供應系統(tǒng)。

背景技術

在半導體領域，為了輸送和儲存的方便，有些工作介質以凝固狀態(tài)存在于鋼瓶中，但是需要在氣態(tài)或液態(tài)下使用。這種工作介質的供應方式如下：將裝有凝固態(tài)工作介質的鋼瓶外側包裹加熱管，通過加熱管將鋼瓶加熱到35℃，鋼瓶內的凝固態(tài)工作介質氣化變?yōu)闅怏w，在壓力傳感器的監(jiān)控下，依次通過過濾器、調壓閥，輸送到工作管道內。在整個輸送過程中，不僅需要對鋼瓶進行加熱，還需要對壓力傳感器、過濾器和調壓閥進行加熱，保證氣體的供應通暢。

由于氣化后的氣體在輸送過程中，吸收的熱量有限，氣化后的氣體受溫度影響會轉化為液相與氣相的混合相，混合相流通速度比較慢，輸送的流量小，一般只能滿足2-3臺機器的使用，當需要滿足10臺機器的使用時，不得不采購更多的同類設備來實現(xiàn)，輸送成本高，占用空間大。

實用新型內容

為了解決以凝固狀態(tài)存在的工作介質通過加熱的模式輸送，流量小，無法滿足多臺機器同時使用的問題，本實用新型的目的是提供一種工作介質供應系統(tǒng)。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術方案：一種工作介質供應系統(tǒng)，包括工作介質輸入管路、工作介質輸出管路，擠壓氣體輸入管路，擠壓氣體輸出管路和儲存罐，所述工作介質輸入管路的輸入端連接鋼瓶，所述鋼瓶內儲存有凝固狀態(tài)的工作介質，所述鋼瓶外側纏繞有加熱管，用于將鋼瓶內凝固狀態(tài)的工作介質轉化為非凝固狀態(tài)，所述工作介質輸入管路上設置有第一閥體，用于控制工作介質輸入管路的開與關，所述工作介質輸入管路的輸出端伸入儲存罐液面上方，所述儲存罐外側纏繞有加熱管，用于將儲存罐內半凝固狀態(tài)的工作介質完全轉化為液態(tài)，所述儲存罐頂端分別設置有擠壓氣體輸入口和擠壓氣體輸出口，所述工作介質輸出管路的輸入端伸入儲存罐底部，所述工作介質輸出管路上設置有第二閥體，用于控制工作介質輸出管路的開與關，所述工作介質輸出管路的輸出端連接工作管路，所述擠壓氣體輸入管路的輸入端連接擠壓氣體的罐體，所述擠壓氣體輸入管路上依次設置有第三閥體，第四閥體，第五閥體，第一過濾器和第一壓力傳感器，所述擠壓氣體輸入管路的輸出端連接擠壓氣體輸入口，所述擠壓氣體輸出管路的輸入端連接擠壓氣體輸出口，所述擠壓氣體輸出管路上設置有第七閥體。

鋼瓶外側纏繞的加熱管對鋼瓶進行加熱，使得鋼瓶內凝固狀態(tài)的工作介質轉化為固態(tài)與液態(tài)混合的半凝固狀態(tài)，通過工作介質輸入管路進入儲存罐，受重力作用，半凝固狀態(tài)的工作介質沉于儲存罐底部，儲存罐外側纏繞的加熱管對儲存罐進行加熱，使得半凝固態(tài)的工作介質完全轉化為液態(tài)，在無外界壓力的作用下，液態(tài)工作介質無法進入工作介質輸出管路中；擠壓氣體輸入管路內通入擠壓氣體，擠壓氣體進入儲存罐，將液態(tài)工作介質擠壓至工作介質輸出管路中。

采用上述方案，將凝固態(tài)的工作介質分兩步進行加熱，第一步將凝固狀態(tài)轉化為半凝固狀態(tài)，輸送至儲存罐；第二步將半凝固狀態(tài)完全轉化為液態(tài)，位于儲存罐中的液態(tài)工作介質通過擠壓氣體擠壓的方式進入工作介質輸出管路中。第一步為速度控制步驟，通過提高第一步的流動速度提高整個系統(tǒng)中工作介質的供應速度。工作介質的供應速度大大提高，可以供應12-18臺機器的同時使用。