[實(shí)用新型]自動(dòng)搖盤機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820014250.4
• 申請(qǐng)日: 2018-01-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207712888U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳茂榮;武傳仁;彭榮貴;黃正尚
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣化科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/24
• 分類號(hào): B65G47/24
• 代理公司: 北京寰華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11408
• 代理人: 林柳岑;于淑惠

本實(shí)用新型公開(kāi)一種自動(dòng)搖盤機(jī)，其包含基座及搖盤組，搖盤組設(shè)置于基座上并包含有擺動(dòng)裝置、震動(dòng)組件、底板及一搖盤，震動(dòng)組件可受擺動(dòng)裝置的帶動(dòng)相對(duì)基座擺動(dòng)，底板可受震動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)而震動(dòng)，搖盤上成形有篩選槽、擋板及晶?？?，擋板設(shè)置于搖盤頂面并延伸至篩選槽上方，晶?？棕灤┏尚斡诤Y選槽的底面并貫通至搖盤的底面，本實(shí)用新型通過(guò)擺動(dòng)組件及震動(dòng)裝置分別產(chǎn)生大幅度的擺動(dòng)及小幅度的震動(dòng)，使放置于篩選槽內(nèi)的晶粒能夠通過(guò)震動(dòng)及擺動(dòng)以正確的面向進(jìn)入到相對(duì)應(yīng)的晶粒孔內(nèi)，藉此達(dá)到自動(dòng)化篩選的功能，進(jìn)一步節(jié)省在加工流程上的人力成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體加工機(jī)械，尤指一種篩選晶粒(Die)的自動(dòng)搖盤機(jī)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，關(guān)于晶圓加工完成后切割成的晶粒，該些晶粒為微小的板體結(jié)構(gòu)，并板體結(jié)構(gòu)的相對(duì)兩側(cè)面分別為一P面及一N面，由于該兩側(cè)面的特性不同，故在將晶粒進(jìn)行后續(xù)加工至如電路基板等其他元件上時(shí)，需以一正確的面向放置才能產(chǎn)生正確的效能。

而現(xiàn)有技術(shù)中，關(guān)于此種辨識(shí)晶粒兩側(cè)面并將其翻至正確面的加工流程，通過(guò)一搖盤，該搖盤上具有多個(gè)晶?？?，使用者通過(guò)手持搖盤并將晶粒灑在搖盤上后開(kāi)始輕微晃動(dòng)，由于該些晶?？變?nèi)具有特殊的凹槽形狀，因此當(dāng)晶粒在晃動(dòng)的過(guò)程中落入晶?？字?，如果以正確的面向(N面朝下)進(jìn)入晶?？字?，則便能夠與該凹槽形狀相配合，并穩(wěn)固地設(shè)置于晶?？變?nèi)，但如果以不正確的面向(P面朝下)進(jìn)入晶?？?，則會(huì)因?yàn)槠湫螤钆c晶?？變?nèi)的形狀不合，因此無(wú)法穩(wěn)固地設(shè)置于晶?？變?nèi)，進(jìn)而會(huì)在持續(xù)晃動(dòng)的過(guò)程中再度被搖晃出晶?？?，現(xiàn)有技術(shù)即通過(guò)此一手動(dòng)搖晃晶粒的過(guò)程，使其搖晃完成后能夠使晶粒皆以正確的方向設(shè)置于晶?？變?nèi)，達(dá)到將晶粒翻轉(zhuǎn)至正確面向的功能。

然而，現(xiàn)有技術(shù)中此種利用人力來(lái)?yè)u晃搖盤的過(guò)程，其不僅耗時(shí)且對(duì)于科技逐漸傾向全自動(dòng)化的概念有所沖突，也無(wú)法有效地提高制造過(guò)程的效率，因此現(xiàn)有技術(shù)的此種篩選晶粒的過(guò)程，有其缺陷存在。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)及不足，本實(shí)用新型提供一種自動(dòng)搖盤機(jī)，其通過(guò)將篩選晶粒的過(guò)程自動(dòng)化，進(jìn)一步節(jié)省加工人力且提高生產(chǎn)時(shí)的效率。

為達(dá)上述的創(chuàng)作目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段為一種自動(dòng)搖盤機(jī)，其包含

一基座；

至少一搖盤組，其設(shè)置于該基座上，各該至少一搖盤組包含有

一擺動(dòng)裝置，其設(shè)置于該基座上；

一震動(dòng)組件，其設(shè)置于該擺動(dòng)裝置上，且該震動(dòng)組件可受該擺動(dòng)裝置的帶動(dòng)而相對(duì)該基座擺動(dòng)；

一底板，其設(shè)置于該擺動(dòng)裝置上，且可受該震動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生震動(dòng)；

一搖盤，其設(shè)置于該底板上，且該搖盤上設(shè)有一篩選槽及兩擋板，該篩選槽上成形有多個(gè)晶?？?，該多個(gè)晶粒孔貫穿該篩選槽的底面并連通至該搖盤的底面，該兩擋板分別設(shè)置于該搖盤頂面上，并沿該擺動(dòng)裝置的擺動(dòng)方向設(shè)置于其相對(duì)兩側(cè)，且該兩擋板延伸至該篩選板的上方。

進(jìn)一步而言，前述的自動(dòng)搖盤機(jī)，其中各該搖盤組中，該底板上成形有多個(gè)震動(dòng)孔，該些震動(dòng)孔貫穿該底板的頂面及底面；該震動(dòng)組件進(jìn)一步包含有一震動(dòng)動(dòng)力裝置；一震動(dòng)基座，該震動(dòng)基座與該震動(dòng)動(dòng)力裝置相連接；多個(gè)震動(dòng)轉(zhuǎn)軸，該多個(gè)震動(dòng)轉(zhuǎn)軸設(shè)置于該震動(dòng)基座上，并與該震動(dòng)動(dòng)力裝置電相連，且該多個(gè)震動(dòng)轉(zhuǎn)軸可受該震動(dòng)動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，該多個(gè)震動(dòng)轉(zhuǎn)軸的數(shù)量及位置與該底板上的該多個(gè)震動(dòng)孔的數(shù)量及位置相對(duì)應(yīng)，且各該震動(dòng)轉(zhuǎn)軸的頂端進(jìn)一步設(shè)有一偏心塊，各該偏心塊向上突伸于該底板上相對(duì)應(yīng)的該震動(dòng)孔內(nèi)，并可貼靠該震動(dòng)孔的內(nèi)壁面相對(duì)該震動(dòng)孔轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)該多個(gè)震動(dòng)轉(zhuǎn)軸受該震動(dòng)動(dòng)力裝置的驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，各該偏心塊會(huì)貼靠相對(duì)應(yīng)的該震動(dòng)孔的內(nèi)壁面轉(zhuǎn)動(dòng)并使該底板相對(duì)該震動(dòng)組件震動(dòng)。

進(jìn)一步而言，前述的自動(dòng)搖盤機(jī)，其中各該至少一搖盤組上進(jìn)一步包含有兩敲擊裝置，其分別設(shè)置于該底板上的相對(duì)兩側(cè)邊，該兩敲擊裝置可相對(duì)該底板產(chǎn)生震動(dòng)。