[實用新型]多線切硅片脫膠清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820011975.8
• 申請日: 2018-01-04
• 公開（公告）號: CN207952094U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬喜增;蔣委達(dá);鄭元奎
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江中晶科技股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 韓燕燕;連圍

本實用新型提供一種多線切硅片脫膠清洗裝置，包括支架、設(shè)置于所述支架上的盛水槽、設(shè)置于所述盛水槽下方的排污口、噴淋清洗組件以及硅片承托架；所述噴淋清洗組件包括轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述盛水槽上的噴淋件、設(shè)置于所述噴淋件上的曲柄連桿件以及設(shè)置于所述盛水槽一端且驅(qū)動端與所述曲柄連桿件相連接的驅(qū)動件；所述硅片承托架包括承托支架、放置于所述承托支架上的硅片黏膠架以及設(shè)置于所述硅片黏膠架正下方的成品承接架；通過設(shè)置轉(zhuǎn)動安裝的噴淋件并配合方便拆卸安裝的硅片承托架代替原有固定設(shè)置的清洗水管解決了清洗水管在進行單晶硅片的脫膠前清洗時只能對單晶硅片進行一個方向上的清洗，清洗效果較差的技術(shù)問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于單晶硅片加工領(lǐng)域，尤其涉及多線切硅片脫膠清洗裝置。

背景技術(shù)

目前，現(xiàn)有的單晶硅棒在切割成單晶硅片后，在脫膠前要對單晶硅片進行清洗；傳統(tǒng)的清洗方式都是直接用軟管進行沖洗，這樣會造成沖洗不均勻，沖洗效果差，同時要有工人一直在那操作，人工成本高。

中國專利CN201320723382.1描述了一種脫膠前單晶硅片的清洗裝置，包括盛水槽、清洗支架和兩根清洗水管，所述的清洗支架固定在盛水槽內(nèi)，所述的清洗支架為長方體形，所述兩根清洗水管分別設(shè)置在清洗支架的左右兩側(cè)，每根所述的清洗水管連接有一個水閥，所述水閥用于與供水管連接，每根所述的清洗水管相對于另一根清洗水管一側(cè)的管壁上等距設(shè)置有多個出水孔；該實用新型實現(xiàn)對單晶硅片的自動，均勻地清洗，解決現(xiàn)有單晶硅片清洗效果差的問題。

上述機構(gòu)存在許多不足，如通過在盛水槽內(nèi)設(shè)置兩根清洗水管并在該清洗水管上均布開設(shè)出水口，該清洗水管在進行單晶硅片的脫膠前清洗時只能對單晶硅片進行一個方向上的清洗，清洗效果較差。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的針對現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種多線切硅片脫膠清洗裝置，通過設(shè)置轉(zhuǎn)動安裝的噴淋件并配合方便拆卸安裝的硅片承托架代替原有固定設(shè)置的清洗水管解決了清洗水管在進行單晶硅片的脫膠前清洗時只能對單晶硅片進行一個方向上的清洗，清洗效果較差的技術(shù)問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

多線切硅片脫膠清洗裝置，包括支架、設(shè)置于所述支架上的盛水槽以及設(shè)置于所述盛水槽下方的排污口，還包括：

噴淋清洗組件，所述噴淋清洗組件包括轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述盛水槽上的噴淋件、設(shè)置于所述噴淋件上的曲柄連桿件以及設(shè)置于所述盛水槽一端且驅(qū)動端與所述曲柄連桿件相連接的驅(qū)動件；以及

硅片承托架，所述硅片承托架包括承托支架、放置于所述承托支架上的硅片黏膠架以及設(shè)置于所述硅片黏膠架正下方的成品承接架。

作為改進，所述噴淋件包括：

噴淋管，所述噴淋管數(shù)量為兩個且相對設(shè)置于所述盛水槽內(nèi)，該噴淋管外圓周面上沿軸向均布開設(shè)有若干噴淋孔；

轉(zhuǎn)動架，所述轉(zhuǎn)動架一端與所述盛水槽相固定連接，其另一端用于承接放置轉(zhuǎn)動設(shè)置的噴淋管。

作為改進，所述曲柄連桿件包括：

第一連桿，所述第一連桿數(shù)量為兩個且分別與所述噴淋管伸出盛水槽一端相固定連接；

第二連桿，所述第二連桿兩端分別與所述第一連桿相鉸接；

轉(zhuǎn)動曲柄，所述轉(zhuǎn)動曲柄一端與所述第一連桿相鉸接其另一端與所述驅(qū)動件驅(qū)動端相連接。

作為改進，所述承托支架包括：

手柄件，所述手柄件數(shù)量為兩個且沿所述承托支架長度方向?qū)ΨQ設(shè)置；

硅片黏膠架放置槽，所述硅片黏膠架放置槽開設(shè)于所述承托支架上表面上。

作為改進，所述硅片黏膠架包括：

基塊；