[實用新型]兩端口閥

有效

• 申請號: 201820011936.8
• 申請日: 2018-01-04
• 公開（公告）號: CN207935546U
• 公開（公告）日: 2018-10-02
• 發明（設計）人: 神坂育男
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 李成海

一種兩端口閥，其能通過抑制沉淀物向密封部件的附著來防止密封部件的密封性降低。在兩端口閥(1)中，在閥座(10)上設置了在第一流路開口(12a)由閥芯(20)封閉時將該流路開口(12a)周圍氣密地密封的第一密封部件(15)，而且，將該密封部件(15)的整體在軸線L1方向配置在與形成上述第一流路開口(12a)的開口壁(16)的前端(16a)及上述第二流路開口(13a)的周緣中最接近閥座(10)的端緣(13b)相比向該開口壁(16)的基端側后退了的位置。

技術領域

本實用新型涉及一種兩端口閥，該兩端口閥，例如是在半導體制造裝置中為了用于真空腔的減壓等的兩端口閥，該真空腔使用工藝氣體。

背景技術

在半導體制造裝置中，在使用工藝氣體在半導體基板上實施成膜處理的情況下，在真空腔內進行該處理。此時，作為真空腔的減壓使用真空泵，作為將這些真空泵和真空腔連結的外部流路的開閉使用兩端口閥。此兩端口閥例如如專利文獻1所示，具備用于與真空腔連接的第一端口部；用于與真空泵連接的第二端口部；將這些第一端口部和第二端口部連接的流路；被設置在此流路中的第一端口部側的閥座；和相對于此閥座接觸分離的閥芯，在此閥芯上安裝了密封部件。

然而，在這樣的兩端口閥中，因為密封部件和第一端口部的向上述流路打開的開口相互相向，所以若使閥芯從閥座分離而將閥開放，則從第一端口部流入的工藝氣體直接接觸到被安裝在閥芯上的密封部件。因此，存在副生成物(因成膜而產生的生成物以外的生成物)等沉淀物容易附著在密封部件上，導致密封部件的密封性降低的危險。

在先技術文獻

專利文獻

[專利文獻1]日本特開2006-312981號公報

實用新型內容

實用新型所要解決的課題

因此，本實用新型的技術的課題是提供一種能通過抑制沉淀物向密封部件的附著來防止密封部件的密封性降低的兩端口閥。

為了解決課題的手段

為了實現上述目的，本實用新型的兩端口閥具有在軸線方向相連的主閥部和閥驅動部，上述主閥部具有閥殼、閥座和閥芯，該閥殼具有在上述軸線方向開設的一次側端口部；在相對于上述軸線正交的方向開設的二次側端口部；及連結上述兩端口部的流路部，該閥座被形成為將上述一次側端口部中的向上述流路部打開的第一流路開口包圍，該閥芯相對于該閥座接觸分離，對上述第一流路開口進行開閉，通過由上述閥驅動部在上述軸線方向驅動上述閥芯，上述閥芯相對于上述閥座接觸分離，該兩端口閥的特征在于，上述第一流路開口由從上述閥座的內周側朝向上述流路部側在上述軸線方向直立設置的環狀的開口壁形成，上述閥座以包圍上述開口壁的方式具有第一密封部件，該第一密封部件是上述閥芯進行接觸分離的密封部件，上述開口壁在上述軸線方向與上述第一密封部件的頂端相比向上述流路部側突出，上述閥芯具有用于在向上述第一密封部件抵接時避免與上述開口壁干涉的避讓部。

在此情況下，希望上述二次側端口部具有向上述流路部打開的第二流路開口，在上述軸線方向，上述第二流路開口的周緣中最接近上述閥座的端緣與上述第一密封部件的頂端相比位于上述流路部側。

另外，優選上述閥殼由具有上述一次側端口部的一次側殼部和具有上述二次側端口部及上述流路部的殼主體部構成，上述流路部由上述殼主體部的內周壁形成，該內周壁中的與上述閥座鄰接的部位被形成為從上述流路部側朝向閥座縮徑的錐狀。

在此情況下，優選上述一次側殼部和上述殼主體部分別被形成為分體，在上述一次側殼部形成了上述閥座，上述閥殼通過將上述一次側殼部和殼主體部相互連結形成。

另外，在上述兩端口閥的優選的實施方式中，上述閥芯中的與上述閥座的相向面包括環狀凸部，該環狀凸部中的與上述閥座的相向面形成相對于上述第一密封部件接觸分離的密封面。

此時，優選上述避讓部由凹部形成，該凹部由上述環狀凸部圍著。