[實(shí)用新型]一種用于靶材制造的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820010787.3
• 申請(qǐng)日: 2018-01-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208261071U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉立言;邱質(zhì)彬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 西安創(chuàng)億能源科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B05B13/02
• 分類(lèi)號(hào): B05B13/02;C23C14/34;B05B15/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種用于靶材制造的裝置，其特征在于，其包括底座(1)、靶材背管(2)、動(dòng)力機(jī)構(gòu)(3)、固定組件(4)、噴槍組件(5)、密封外殼(6)；所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)(3)、固定組件(4)均設(shè)置在底座(1)上并且分別位于底座(1)的兩端，用于帶動(dòng)靶材背管(2)轉(zhuǎn)動(dòng)；所述噴槍組件(5)設(shè)置在底座(1)上并且位于靶材背管(2)的一側(cè)，用于噴涂靶材背管(2)上的靶材；所述密封外殼(6)設(shè)置在靶材背管(2)外側(cè)；所述底座(1)上還設(shè)置有壓力冷卻組件(7)，所述壓力冷卻組件(7)用于向靶材背管(2)內(nèi)壓力噴入循環(huán)冷卻水。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于靶材制造的裝置，其特征在于，其還包括同軸設(shè)置的第一固定環(huán)(8)、第一旋轉(zhuǎn)接頭(9)、第二固定環(huán)(10)、第二旋轉(zhuǎn)接頭(11)，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)(3)通過(guò)第一固定環(huán)(8)連接第一旋轉(zhuǎn)接頭(9)，所述第一旋轉(zhuǎn)接頭(9)與靶材背管(2)的一端連接；所述固定組件(4)的一端通過(guò)第二固定環(huán)(10)連接第二旋轉(zhuǎn)接頭(11)，所述第二旋轉(zhuǎn)接頭(11)與靶材背管(2)的另一端連接；所述第二旋轉(zhuǎn)接頭(11)設(shè)置有進(jìn)水口用于與所述壓力冷卻組件(7)連接，所述第一旋轉(zhuǎn)接頭(9)設(shè)置出水口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于靶材制造的裝置，其特征在于，其還包括冷卻水軸(12)，所述冷卻水軸(12)設(shè)置靶材背管(2)內(nèi)，所述冷卻水軸(12)沿軸向開(kāi)設(shè)多個(gè)通孔用于通過(guò)冷卻水。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于靶材制造的裝置，其特征在于，所述壓力冷卻組件(7)包括水箱(71)、出水管(72)、增壓水泵(73)和回水管(74)，所述出水管(72)的一端與第二旋轉(zhuǎn)接頭(11)的進(jìn)水口連接，所述出水管(72)的另一端與水箱(71)連接；所述回水管(74)的一端與第一旋轉(zhuǎn)接頭(9)的出水口連接，所述回水管(74)的另一端與水箱(71)連接；所述增壓水泵(73)設(shè)置在出水管(72)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于靶材制造的裝置，其特征在于，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)(3)包括第一支架(31)、電機(jī)(32)、齒輪組(33)、傳動(dòng)軸(34)、支撐立柱(35)、氣缸(36)，所述電機(jī)(32)設(shè)置在第一支架(31)上，所述電機(jī)(32)的輸出端通過(guò)齒輪組(33)與傳動(dòng)軸(34)連接，所述傳動(dòng)軸(34)通過(guò)固定于第一支架(31)上的軸承及軸承支桿支撐，所述傳動(dòng)軸34與第一固定環(huán)(8)連接；所述第一支架(31)的底部固定設(shè)置支撐立柱(35)，所述氣缸(36)用于推動(dòng)支撐立柱(35)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于靶材制造的裝置，其特征在于，所述固定組件(4)包括第二支架(41)和支撐軸(42)，所述支撐軸(42)通過(guò)固定于第二支架(41)上的軸承及軸承支桿支撐，所述支撐軸(42)與第二固定環(huán)(10)連接；第二支架(41)固定在底座(1)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于靶材制造的裝置，其特征在于，所述噴槍組件(5)包括伺服電機(jī)(51)、噴槍支座(52)、噴槍(53)，所述噴槍支座(52)設(shè)置在靶材背管(2)的一側(cè)，所述噴槍(53)安裝在噴槍支座(52)的頂部，所述伺服電機(jī)(51)與噴槍支座(52)相連用于帶動(dòng)噴槍支座(52)沿靶材背管(2)的軸向往復(fù)移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于靶材制造的裝置，其特征在于，所述底座(1)開(kāi)設(shè)有與支撐立柱(35)配合的第一滑槽，所述底座(1)還開(kāi)設(shè)有與噴槍支座(52)配合的第二滑槽。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于靶材制造的裝置，其特征在于，其還包括涂層測(cè)厚儀(13)和PLC控制器(14)，所述PLC控制器(14)分別與涂層測(cè)厚儀(13)與伺服電機(jī)(51)連接，用于控制噴槍(53)移動(dòng)的速度。