[實(shí)用新型]基板夾具和基板承載裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820006587.0
• 申請(qǐng)日: 2018-01-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207788736U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王龍昆;王偉;楊文娟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B25B11/00
• 分類(lèi)號(hào): B25B11/00
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本實(shí)用新型涉及一種基板夾具，包括底座和夾持桿，所述夾持桿的中部通過(guò)樞接部樞接于所述底座上，所述夾持桿的一端設(shè)置有第一夾持部，所述夾持桿的另一端設(shè)置有傳動(dòng)連接部；所述底座上設(shè)置有與所述第一夾持部相對(duì)應(yīng)的第二夾持部，所述底座上設(shè)置有與所述傳動(dòng)連接部傳動(dòng)連接的壓力驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)；其中，在所述壓力驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的控制下，所述夾持桿繞所述樞接部擺動(dòng)，以使得所述第一夾持部向靠近或遠(yuǎn)離所述第二夾持部的方向移動(dòng)。本實(shí)用新型的有益效果是：采用杠桿式的夾持方式，且采用壓力驅(qū)動(dòng)的方式控制用于夾持基板的所述第一夾持部和所述第二夾持部的靠近或遠(yuǎn)離，提高夾持基板的夾緊力的穩(wěn)定性，使用壽命長(zhǎng)，有效的降低破片風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及顯示產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板夾具和基板承載裝置。

背景技術(shù)

玻璃基板在Sputter(噴鍍)過(guò)程中，要經(jīng)過(guò)Robot(機(jī)器人)取片、掛片及腔內(nèi)鍍膜等過(guò)程，玻璃基板的承載是通過(guò)框架以及設(shè)置在框架周邊的Spring(彈簧片)進(jìn)行夾緊，由于玻璃基板較大且厚度很薄，很容易發(fā)生破片，與Spring(彈簧片)相關(guān)的破片占很大比例。

目前使用Spring夾持玻璃基板，主要存在以下問(wèn)題：

1)變形問(wèn)題：使用過(guò)程中，彈簧片容易發(fā)成變形，產(chǎn)生中間翹起、歪斜等問(wèn)題，容易造成破片；

2)彈性問(wèn)題：頂針進(jìn)行支撐基板時(shí)，過(guò)程容易造成彈簧片彈性缺失，在傳送過(guò)程中，玻璃基板容易晃動(dòng)與彈簧片發(fā)生摩擦或者跳出Spring造成破片；

3)結(jié)構(gòu)問(wèn)題：存在彈簧片與玻璃基板線(xiàn)接觸甚至點(diǎn)接觸的情況，容易發(fā)生應(yīng)力集中產(chǎn)生破片；由于工藝問(wèn)題，彈簧片個(gè)體之間存在一定的差異，相當(dāng)比例的彈簧片偏長(zhǎng)或者偏短，不能保證均一性；

4)成本問(wèn)題：彈簧片的壽命在1000次左右，每個(gè)承載框架需要32個(gè)彈簧片，日常生產(chǎn)中需要頻繁維護(hù)，維護(hù)成本巨大；

5)其他問(wèn)題：頻繁更換彈簧片，容易發(fā)生牙套損壞、螺絲斷裂等問(wèn)題，浪費(fèi)人力成本，由于運(yùn)輸臺(tái)車(chē)較高，作業(yè)存在較大風(fēng)險(xiǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種基板夾具和基板承載裝置，解決基板容易破片的問(wèn)題。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種基板夾具，包括底座和夾持桿，

所述夾持桿的中部通過(guò)樞接部樞接于所述底座上，所述夾持桿的一端設(shè)置有第一夾持部，所述夾持桿的另一端設(shè)置有傳動(dòng)連接部；

所述底座上設(shè)置有與所述第一夾持部相對(duì)應(yīng)的第二夾持部，所述底座上設(shè)置有與所述傳動(dòng)連接部傳動(dòng)連接的壓力驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)；

其中，在所述壓力驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的控制下，所述夾持桿繞所述樞接部擺動(dòng)，以使得所述第一夾持部向靠近或遠(yuǎn)離所述第二夾持部的方向移動(dòng)。

進(jìn)一步的，所述壓力驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括：

用于提供動(dòng)力源的壓力源；

通過(guò)流體回路與所述壓力源連接的流體壓力驅(qū)動(dòng)缸，所述流體壓力驅(qū)動(dòng)缸與所述傳動(dòng)連接部連接；

及，設(shè)置于所述流體回路上的控制開(kāi)關(guān)組件，用于控制所述流體壓力驅(qū)動(dòng)缸內(nèi)的流體流向，以使所述第一夾持部向靠近或遠(yuǎn)離所述第二夾持部的方向移動(dòng)。

進(jìn)一步的，

所述流體壓力驅(qū)動(dòng)缸包括第一腔室和第二腔室，所述控制開(kāi)關(guān)組件包括換向電磁閥，所述流體回路包括連接在所述第一腔室和所述換向電磁閥之間的第一管路、及連接在所述第二腔室和所述換向電磁閥之間的第二管路；

所述換向電磁閥具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)；