[發明專利]基于缺陷地結構共面波導的激光器在審
| 申請號： | 201811653921.2 | 申請日： | 2018-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN109728391A | 公開（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發明（設計）人： | 王建坤;黃永光;闞強 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | H01P3/10 | 分類號： | H01P3/10;H01S5/022 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 缺陷地結構 激光器 共面波導 鍍金層 介質層 下表面 信號線 正極連接 中間設置 上表面 地線 | ||
1.一種基于缺陷地結構共面波導的激光器，包括：
介質層(1)；
下表面鍍金層(2)，設置在所述介質層(1)的下表面；
上表面鍍金層(3)，設置在所述介質層(1)的上表面，所述上表面鍍金層(3)的中間設置為信號線(4)，所述信號線(4)兩側設置有缺陷地結構(5)；
激光器(6)，設置在所述信號線(4)的末端，所述激光器(6)的正極連接至所述缺陷地結構(5)。
2.根據權利要求1所述的基于缺陷地結構共面波導的激光器，其中，所述缺陷地結構(5)的傳輸阻帶的位置、寬度和深度在第一預設范圍之內。
3.根據權利要求1所述的基于缺陷地結構共面波導的激光器，其中，所述缺陷地結構(5)的缺陷形狀為方形、半圓形或螺旋狀。
4.根據權利要求1所述的基于缺陷地結構共面波導的激光器，其中，所述信號線(4)與其兩側的所述上表面鍍金層(3)之間的距離在第二預設范圍之內。
5.根據權利要求1所述的基于缺陷地結構共面波導的激光器，其中，所述激光器(6)焊接在所述信號線(4)的末端，所述激光器(6)的正極通過金絲鍵合連接至所述缺陷地結構(5)。
6.根據權利要求1所述的基于缺陷地結構共面波導的激光器，其中，所述下表面鍍金層(2)和上表面鍍金層(3)的濺射結構依次為粘附層、阻擋層和導帶層，所述粘附層的材料為TiW或Ti，所述阻擋層的材料為Ni，所述導帶層的材料為Au。
7.根據權利要求6所述的基于缺陷地結構共面波導的激光器，其中，所述粘附層的厚度為800-1200埃，所述阻擋層的厚度為1000-2000埃，所述導帶層的厚度為500-1000埃。
8.根據權利要求1所述的基于缺陷地結構共面波導的激光器，其中，所述下表面鍍金層(2)和上表面鍍金層(3)的電鍍材料為Au，所述電鍍材料的厚度為3-5μm。
9.根據權利要求1所述的基于缺陷地結構共面波導的激光器，其中，所述介質層(1)的材料為AlN或Al2O3。
10.根據權利要求1所述的基于缺陷地結構共面波導的激光器，其中，所述激光器為分布反饋激光器。
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