[發明專利]設置于高頻電源系統中的阻抗匹配裝置有效
| 申請號： | 201811653642.6 | 申請日： | 2018-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN110942970B | 公開（公告）日： | 2022-03-25 |
| 發明（設計）人： | 高原敏浩;河田悅郎;岸良貴通;岡崎丈浩;藤原延崇;勝冶篤史;中村謙太 | 申請（專利權）人： | 阿德特克等離子技術公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H03H7/38 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 置于 高頻 電源 系統 中的 阻抗匹配 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種阻抗匹配裝置，被設置于高頻電源系統中，該高頻電源系統構成為經由機械地變更常數的匹配器將高頻電源的輸出供給至負載，該阻抗匹配裝置具備：
匹配狀態值取得部，取得表示所述高頻電源與所述負載之間的匹配狀態的匹配狀態值；和
控制部，基于所述匹配狀態值，控制所述高頻電源的振蕩頻率，
若所述匹配狀態值的變化量超過預先設定的閾值，則所述控制部判定為所述匹配狀態的惡化，開始以第一斜率使所述振蕩頻率朝向所述匹配狀態得以改善的方向發生變化，然后以比所述第一斜率緩慢的第二斜率使所述振蕩頻率復原。
2.根據權利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，
所述控制部在預先設定的不匹配抑制期間內，以所述第一斜率使所述振蕩頻率發生變化。
3.根據權利要求2所述的阻抗匹配裝置，其中，
若所述不匹配抑制期間結束，則所述控制部與所述匹配狀態值所表示的所述匹配狀態如何無關地，開始以所述第二斜率使所述振蕩頻率復原。
4.根據權利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，
所述控制部在所述匹配狀態值表示所述匹配狀態已改善到預先設定的程度的情況為止的期間，以所述第一斜率使所述振蕩頻率發生變化。
5.根據權利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，
所述匹配狀態值是與反射波的大小相關的值。
6.根據權利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，
所述負載是等離子體處理裝置。
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