[發(fā)明專利]一種掃描式基片表面檢測(cè)方法和裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811643903.6
• 申請(qǐng)日: 2018-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109490148A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文濤;陳子天;李曉龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 賽納生物科技（北京）有限公司
• 主分類號(hào): G01N13/00
• 分類號(hào): G01N13/00;G01B13/22
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11489
• 代理人: 肖佳

1.一種掃描式基片表面檢測(cè)方法,其特征在于,基片傾斜，在基片的表面加第一液體液滴；將牽引裝置和第一液體接觸，以牽引裝置引導(dǎo)第一液體運(yùn)動(dòng)；通過(guò)第一液體液滴運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)檢測(cè)基片表面的均勻性；其中，所述第一液體液滴在重力的作用下不主動(dòng)滑落；所述第一液體液滴在牽引裝置的作用下運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述基片傾斜指的是基片表面與水平面呈30-90度夾角；優(yōu)選40-80度夾角。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述基片表面疏水化學(xué)修飾。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一液體為含水的液體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述牽引裝置為注射針頭、點(diǎn)膠槍頭、移液器槍頭或者其它具有尖銳頭部的物品。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一液體液滴的量為0.005-0.1mL；優(yōu)選0.005-0.05mL；更優(yōu)選0.01-0.04mL；更優(yōu)選0.03mL。

7.一種掃描式基片表面檢測(cè)方法，包括以下步驟，基片傾斜；牽引裝置靠近基片；通過(guò)牽引裝置頭部的加液孔向基片表面加第一液體液滴；以牽引裝置引導(dǎo)第一液體液滴運(yùn)動(dòng)；通過(guò)第一液體液滴運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)檢測(cè)基片表面的均勻性；其中，所述第一液體液滴在重力的作用下不主動(dòng)滑落；所述第一液體液滴在牽引裝置的作用下運(yùn)動(dòng)。

8.一種掃描式基片表面檢測(cè)裝置,包括基片固定裝置，牽引裝置，第一液體加液裝置；其中，基片固定在基片固定裝置上，第一液體加液裝置用于向基片表面加第一液體液滴，牽引裝置用于牽引第一液體液滴的運(yùn)動(dòng)。

9.一種掃描式基片表面檢測(cè)裝置，包括基片固定裝置，牽引裝置，第一液體加液裝置；其中，基片固定在基片固定裝置上；所述牽引裝置的頭部具有加液孔；第一液體加液裝置通過(guò)管路連通到牽引裝置；第一液體加液裝置用于通過(guò)牽引裝置頭部的加液孔向基片表面加第一液體液滴，牽引裝置用于牽引第一液體液體的運(yùn)動(dòng)。

10.根據(jù)前面任一項(xiàng)權(quán)利要求的裝置，所述牽引裝置包括電機(jī)，電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制裝置，接觸件；其中，所述接觸件在電機(jī)的帶動(dòng)下運(yùn)動(dòng)，電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制裝置用于控制電機(jī)，接觸件與液滴接觸的部分具有接觸頭部，接觸頭部用于接觸液滴，并且?guī)?dòng)液滴運(yùn)動(dòng)。