[發明專利]一種流體輸送裝置、系統及流體輸送系統的使用方法

有效

• 申請號: 201811643259.2
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN111379970B
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 俞蕓;楊志斌
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04;F17D3/01
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明公開了一種流體輸送裝置、系統及流體輸送系統的使用方法。該流體輸送裝置包括：流體輸入單元、流體分配單元和流體輸出單元；所述流體分配單元的一端與所述流體輸入單元密封連接，另一端與所述流體輸出單元密封連接；所述流體輸入單元用于輸入流體，并將所述流體引入所述流體分配單元；所述流體分配單元包括通路調節器和多個流體傳輸管，所述通路調節器用于調整所述多個流體傳輸管的連接關系，改變所述流體分配單元的流體輸出性能；所述流體輸出單元用于將由所述流體分配單元流出的流體輸出。本發明的方案實現了快速的對流體輸出性能進行調節，實現不同的流量輸出，提高了調節效率。

技術領域

本發明涉及流體傳輸技術，尤其涉及一種流體輸送裝置、系統及流體輸送系統的使用方法。

背景技術

毛細管用在氣動系統中起穩壓和降壓的作用。在一個復雜系統中通常有多個支路，通過不同的毛細管進行穩壓和降壓之后輸送給壓阻不同的使用對象，實現不同使用對象流量分配的目的。

然而下實際使用過程中，使用對象的實際壓阻在離線階段難以準確計算，集成后需對毛細管長度和內徑進行多次調節，并且調節過程中，多個支路之間的流量分配存在耦合關系，改變一個支路的流量會引起其余支路的流量重新分配，需要對其他支路的毛細管進行調節?，F有技術的毛細管無法實現快速的調節，因此調節過程耗時過長。

發明內容

本發明提供一種流體輸送裝置、系統及流體輸送系統的使用方法，以實現快速的對流體輸出性能進行調節，實現不同的流量輸出，提高調節效率。

第一方面，本發明實施例提供了一種流體輸送裝置，該裝置包括：

流體輸入單元、流體分配單元和流體輸出單元；所述流體分配單元的一端與所述流體輸入單元密封連接，另一端與所述流體輸出單元密封連接；

所述流體輸入單元用于輸入流體，并將所述流體引入所述流體分配單元；

所述流體分配單元包括通路調節器和多個流體傳輸管，所述通路調節器用于調整所述多個流體傳輸管的連接關系，改變所述流體分配單元的流體輸出性能；所述流體輸出單元用于將由所述流體分配單元流出的流體輸出。

可選的，所述通路調節器用于將所述多個流體傳輸管串聯和/或并聯為不同的管路組。

可選的，所述通路調節器包括導通管和/或阻隔塊；

所述導通管用于與任意兩個流體傳輸管的同一端連接，聯通所述任意兩個流體傳輸管；

所述阻隔塊用于堵塞所述流體傳輸管。

可選的，所述導通管的內徑或等于大于所述流體傳輸管的內徑。

可選的，所述流體傳輸管的內徑的取值范圍為0.1mm-2mm，所述導通管的內徑的取值范圍為2mm-5mm。

可選的，所述多個流體傳輸管至少具有兩種不同的內徑。

可選的，所述流體分配單元包括殼體，所述殼體用于固定所述多個流體傳輸管；

所述殼體設置有定位結構，所述定位結構用于固定所述通路調節器。

可選的，所述殼體與所述流體傳輸管的兩個端部對應的部分設置有定位槽，所述定位槽用于固定所述通路調節器。

可選的，所述多個流體傳輸管平行排布，且每一所述流體傳輸管和與其相鄰的流體傳輸管之間的間距相同。

可選的，相鄰所述流體傳輸管之間的間距為5mm-10mm。

可選的，所述流體輸入單元包括頂蓋以及設置于所述頂蓋上的流體輸入管；

所述流體輸出單元包括底蓋和設置于所述底蓋上的流體輸出管；

所述頂蓋和所述底蓋分別與所述殼體密封連接；