[發明專利]一種等離子處理器以及靜電夾盤加熱方法

有效

• 申請號: 201811636389.3
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN111383894B
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 倪圖強;飯塚浩;吳迪;謝林;左濤濤
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海元好知識產權代理有限公司 31323
• 代理人: 張妍;劉琰

1.一種等離子處理器，所述等離子處理器包括一反應腔，反應腔內包括一個用于支撐基片的基座，一個射頻電源連接并供應射頻功率到所述基座，所述基座上包括一靜電夾盤和用于控制靜電夾盤溫度的一加熱系統，所述加熱系統包括多個加熱器分別用于控制靜電夾盤不同區域的溫度，其特征在于，所述加熱系統還包括：

加熱器驅動控制器，其與所述多個加熱器連接，用于驅動所述多個加熱器，所述加熱器驅動控制器位于所述多個加熱器下方的射頻輻射環境中；

位于反應腔外大氣環境中的加熱電源，其與所述加熱器驅動控制器之間通過一根功率供應線和一根功率回線實現電連接，為所述加熱器驅動控制器和所述多個加熱器進行供電，所述功率供應線和所述功率回線上還串聯有一個射頻濾波器，使得所述加熱電源經過所述射頻濾波器連接到所述加熱器驅動控制器；

所述加熱器驅動控制器中包括至少一個控制器和至少一個加熱器驅動器，通過控制所述加熱器驅動器輸出到所述多個加熱器的驅動信號來對所述多個加熱器的功率輸出進行控制。

2.如權利要求1所述的等離子處理器，其特征在于，

所述等離子處理器還包括一個主機，用于存儲并執行等離子處理工藝；所述控制器通過與所述主機通信連接，獲取所述主機的控制指令，將所述控制指令轉換成驅動信號發送至所述加熱器驅動器，用以驅動所述多個加熱器；或者，所述控制器將所述多個加熱器接收到的靜電夾盤溫度經過所述加熱器驅動器反饋給所述主機，實現對所述加熱系統的控制。

3.如權利要求2所述的等離子處理器，其特征在于，

所述控制器與所述主機之間的通信方式為光纖通信或無線藍牙通信。

4.如權利要求1所述的等離子處理器，其特征在于，

所述加熱器驅動器中包括光耦或者藍牙信號發射裝置或者半導體開關，用于驅動所述多個加熱器。

5.如權利要求1所述的等離子處理器，其特征在于，

所述加熱器驅動器和所述控制器集成在一個印刷電路板上，或者，所述加熱器驅動器和所述控制器分開放置。

6.如權利要求1所述的等離子處理器，其特征在于，

每個所述加熱器的兩端對應連接到所述加熱器驅動器中的一組輸出端口。

7.如權利要求1所述的等離子處理器，其特征在于，

每個所述加熱器中包括一加熱電阻絲。

8.如權利要求1所述的等離子處理器，其特征在于，

所述加熱電源為直流電源或交流電源。

9.如權利要求1所述的等離子處理器，其特征在于，

所述等離子處理器為電容耦合等離子處理器或電感耦合等離子處理器。

10.一種如權利要求1-9任意一項所述的等離子處理器內靜電夾盤的加熱控制方法，其特征在于，該方法包含以下過程：

將加熱電源設置在反應腔外大氣環境中以及將加熱器驅動控制器設置在反應腔內的射頻輻射環境中；

所述加熱電源與所述加熱器驅動控制器之間通過一根功率供應線和一根功率回線實現電連接，為所述加熱器驅動控制器和反應腔內的多個加熱器進行供電；

在所述功率供應線和所述功率回線上串聯有一個射頻濾波器；

將所述加熱器驅動控制器設置有至少一個控制器和至少一個加熱器驅動器，通過控制所述加熱器驅動器輸出到所述多個加熱器的驅動信號來對所述多個加熱器的功率輸出進行控制，控制靜電夾盤不同區域的溫度。