[發明專利]一種新型光刻膠顯影裝置及顯影方法

在審

• 申請號: 201811636147.4
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN109375481A
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 王曉龍;姚俊俊
• 申請（專利權）人: 上海彩丞新材料科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 丁鵬

1.一種新型光刻膠顯影裝置，其特征在于：包括基臺固定架(1)、光刻膠板固定架(2)、顯影液罐(4)、超純水罐(5)、緩存槽(8)以及液體流通口(7)；

所述顯影液罐(4)、超純水罐(5)選擇性的與所述緩沖槽(8)連通，所述緩沖槽(8)內的液體通過液體流通口(7)與外部連通；

所述液體流通口(7)位于光刻膠固定架(2)上方。

2.根據權利要求1所述的一種新型光刻膠顯影裝置，其特征在于：所述顯影液罐(4)、超純水罐(5)與所述緩沖槽(8)的連通通路中設置有液體流量閥(6)。

3.根據權利要求1所述的一種新型光刻膠顯影裝置，其特征在于：所述光刻膠板固定架(2)由第一光刻膠板固定桿(21)、第一固定桿導向架(22)、第二光刻膠板固定桿(23)、第二固定桿導向架(24)、第三光刻膠板固定桿(25)、第三固定桿導向架(26)依次連接后圍合成矩形狀，所述第一光刻膠板固定桿(21)、第二光刻膠板固定桿(23)、第三光刻膠板固定桿(25)的內側均開設有固定卡槽，光刻膠板的邊緣被接納在所述固定卡槽內。

4.根據權利要求3所述的一種新型光刻膠顯影裝置，其特征在于：還包括鎖緊機構(3)，所述第一固定桿導向架(22)、第二固定桿導向架(24)、第三固定桿導向架(26)開設有導向槽，所述第一光刻膠板固定桿(21)、第二光刻膠板固定桿(23)、第三光刻膠板固定桿(25)可分別在其連接端的所述第一固定桿導向架(22)、第二固定桿導向架(24)、第三固定桿導向架(26)內的導向槽內滑動，所述鎖緊機構(3)可選擇性的限制所述第一固定桿導向架(22)、第二固定桿導向架(24)、第三固定桿導向架(26)的滑動。

5.根據權利要求4所述的一種新型光刻膠顯影裝置，其特征在于：所述鎖緊機構(3)包含多個鎖緊螺釘(31)，所述第一固定桿導向架(22)、第二固定桿導向架(24)、第三固定桿導向架(26)分別在靠近其兩端部且一垂直其軸線的側壁上開設有螺紋孔，所述鎖緊螺釘(31)螺紋連接于所述螺紋孔內，旋緊所述鎖緊螺釘(31)可將所述第一光刻膠板固定桿(21)、第二光刻膠板固定桿(23)、第三光刻膠板固定桿(25)頂緊在所述導向槽內。

6.根據權利要求5所述的一種新型光刻膠顯影裝置，其特征在于：所述第一光刻膠板固定桿(21)和第三光刻膠板固定桿(25)為直角狀且二者相鄰，所述第二光刻膠板固定桿(23)為條狀且位于所述第一光刻膠板固定桿(21)和第三光刻膠板固定桿(25)的相對側。

7.根據權利要求1所述的一種新型光刻膠顯影裝置，其特征在于：所述光刻膠板固定架(2)與水平面呈45°傾斜。

8.根據權利要求1所述的一種新型光刻膠顯影裝置，其特征在于：所述液體流通口(7)為扁平口。

9.基于權利要求1-8所述的一種新型光刻膠顯影裝置的顯影方法，其特征在于：包括以下步驟

S1：將配置好的顯影液及超純水分別裝入顯影液罐(4)及超純水罐(5)中待用；

S2：將曝光好的光刻膠板卡于光刻膠板固定架(2)中；

S3：將顯影液罐(4)與緩沖槽(8)連通，顯影液流至光刻膠板上，顯影開始；

S4：顯影結束后切斷顯影液，將超純水罐(5)與緩沖槽(8)連通，對光刻膠板進行沖洗；

S5：沖洗結束后切斷超純水，將光刻膠板用氮氣吹干。