[發明專利]一種用于拋光鎢的化學機械拋光液在審
| 申請號： | 201811627123.2 | 申請日： | 2018-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN111378373A | 公開（公告）日： | 2020-07-07 |
| 發明（設計）人： | 王晨;何華鋒;李星;史經深;孫金濤 | 申請（專利權）人： | 安集微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律師事務所 11352 | 代理人： | 李佳銘;王芳 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新區張江高科技園區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 拋光 化學 機械拋光 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于拋光鎢的化學機械拋光液，其特征在于，包括硅溶膠、硝酸鐵和有機酸絡合劑，其中所述硅溶膠的研磨顆粒表面被硅烷耦合劑處理過，拋光液的pH值為4.0-5.5。
2.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述硅溶膠的固含量為0.5％-5％。
3.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述硝酸鐵的質量百分比含量為0.02％-0.2％。
4.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述有機酸絡合劑選自丙二酸、丁二酸、酒石酸、草酸、檸檬酸中的一種或多種。
5.根據權利要求1或4所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述有機酸絡合劑的質量百分比含量為0.04％-4％。
6.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于，還包括pH穩定劑，其中所述的pH穩定劑的pKa值為4.0-5.0。
7.根據權利要求6所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述pH穩定劑選自丙酸、乙酸、正丁酸、異丁酸、正戊酸、正己酸、己二酸、苯甲酸中的一種或多種。
8.根據權利要求6所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述pH穩定劑的質量百分比含量為0.05％-2％。
9.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述化學機械拋光液中還含有雙氧水。
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