[發明專利]一種靜電防護器件

在審

• 申請號: 201811623624.3
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109545777A
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 蔣伯軍;陶長青;盧孟
• 申請（專利權）人: 江蘇邦融微電子有限公司
• 主分類號: H01L23/60
• 分類號: H01L23/60;H05F3/04
• 代理公司: 江蘇瑞途律師事務所 32346
• 代理人: 李維朝

本發明提供一種靜電防護器件，包括導線、放電尖端、接地圓環或接地圓柱；所述放電尖端與導線連接，所述導線從接地圓環的圓心或接地圓柱的軸心穿過；所述放電尖端位于接地圓環內或位于接地圓柱的徑向圓環內，該徑向圓環與接地圓柱的底面平行。本發明通過設置多條放電通道，大大提高尖端放電誘發靜電放電的成功率。

技術領域

本發明屬于芯片技術領域，特別是涉及一種靜電防護器件。

背景技術

IC芯片是將大量的微電子元器件形成的集成電路放在一塊塑基上，然后做成一塊芯片，而今幾乎所有看到的芯片，都可以叫做IC芯片，隨著科學技術的不斷發展和不斷進步，IC芯片已經廣泛應用在我們生活的各個領域，但是IC的控制模塊容易受到接入電流靜電的影響，進而影響IC芯片的性能。

半個世紀以來，靜電在電子行業引起的著火、爆炸等事故不勝枚舉。僅美國電子行業每年因靜電造成的損失就高達幾百億美元，因此，靜電防護在減少損失、提升品質和消費效率方面具有重要的意義。

隨著導體技術和集成電路行業的迅速發展以及廣泛應用，體積小、集成度高的器件越發受市場歡迎，這種需求也導致導線間間距越來越小，內部氧化膜逐漸變薄，同時也導致器件對靜電的影響十分敏銳，以至于一些微小電壓就可能擊穿這些電子器件。而電子產品在生產、運輸、儲存和轉運等一系列過程中所產生的靜電電壓卻遠遠超過其耐壓值，這就可能造成器件的擊穿或失效，影響產品的可靠性。所以必須要重視靜電的防護，從根本上解決這個問題。

在電子行業中，靜電放電(ESD)的能量對于傳統器件的影響，不易被人們察覺。但對于因線路間距短，線路面積小而導致耐壓降低、耐流容量減少的高密集元器件來講，ESD往往會成為其致命的殺手。

靜電放電還能造成更嚴重的問題，任何部件測試時，可能并沒有發現由于靜電放電所造成的器件殘次，如果在后續裝配工序發現器件失效，將導致返工或更換器件造成的成本增加。一旦器件在工作現場失效，其修理或更換費用，會比制造階段發現并解決問題所需要的費用多花100倍以上。有些電子元器件受到靜電放電損傷后，僅表現出產品某些性能參數的下降，但尚未達到完全失效的程度，如不進行全面地檢測往往無法發現。例如數字集成電路在靜電放電損傷后電流輸入電平的增加，在電路功能測試時一般不會被發現；或者靜電放電使產品出現可自愈的擊穿或其他非致命的損害，但這種效應可以累加，從而形成潛在的隱患，在繼續使用的情況下可發生致命失效，既難以預料又不可能事先篩選。

實際使用中，由于半導體指紋采集器件表面被暴露于空氣中，所述用來隔離人體皮膚表面和檢測電極的絕緣保護層僅是一層很薄的保護膜，而通常情況下人體最高可以攜帶幾千伏甚至過萬伏的靜電電壓(尤其在北方干燥的環境下這種情況十分常見)，這樣，上述指紋采集過程中，靜電電壓也可以通過所述各板間電容而耦合至各檢測電極，再經過該檢測電極傳導至傳感器的內部工作電路，將對半導體指紋采集器件造成不可恢復的破壞。因此，如何增強靜電防護功能，是半導體指紋采集器件增強市場競爭力的關鍵考慮點之一。

發明內容

為解決現有技術存在的問題，本發明提供一種靜電防護器件，具有若干條放電通道，提高尖端放電誘發靜電放電的成功率。

本發明提供的靜電防護器件，包括導線、放電尖端、接地圓環或接地圓柱；所述放電尖端與導線連接，所述導線從接地圓環的圓心或接地圓柱的軸心穿過；所述放電尖端位于接地圓環內或位于接地圓柱的徑向圓環內，該徑向圓環與接地圓柱的底面平行。由于在放電尖端的前端180度范圍內，放電尖端與接地圓環或接地圓柱之間形成多條放電通道，大大提高放電誘發靜電放電的成功率。