[發明專利]激光裝置

在審

• 申請號: 201811621000.8
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN110091079A
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 田中研太;河村讓一;萬雅史;岡田康弘
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: B23K26/382
• 分類號: B23K26/382;B23K26/064;H05K3/00;B23K101/42
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

本發明提供一種激光裝置，其能夠維持穩定的光束分布。在激光束所通過的光束路徑上配置有光學組件。鼓風機用于在內部包含光學組件的空間內產生大氣的流動。

本申請主張基于2018年1月30日申請的日本專利申請第2018-013268號的優先權。該日本申請的全部內容通過參考援用于本說明書中。

技術領域

本發明涉及一種激光裝置。

背景技術

已知有：在氣密性的激光束傳輸路主體內填滿非吸收性氣體的激光束傳輸路(專利文獻1)。專利文獻1中公開的傳輸路主體具有沿著激光束的傳輸路徑的形狀，且其具有氣密性。在傳輸路主體的靠近起點處設置有非吸收性氣體的入口，靠近終點處設置有出口。

專利文獻1：日本特開昭59-206804號公報

通常，在將激光束用于印刷電路板的鉆孔加工等時，在激光束的路徑上配置透鏡、光圈等光束分布調整機構。然而，難以將這些光束分布調整機構在進行光軸調整后配置于氣密性較高的傳輸路主體的內部。根據本申請發明人等的實驗已查明，在將激光束的傳輸路徑設為不具有氣密性的開放的空間的情況下，有時無法獲得穩定的光束分布。

發明內容

本發明的目的在于提供一種能夠維持穩定的光束分布的激光裝置。

根據本發明的一種觀點，提供一種激光裝置，其具有：

光學組件，其配置于激光束所通過的光束路徑上；及

鼓風機，其用于在內部包含所述光學組件的空間內產生大氣的流動。

通過將內部包含光學組件的空間設為大氣狀態，由于無需維持氣密性，因此能夠容易進行光學組件的光軸調整。并且，通過產生大氣的流動，能夠使光束分布長時間穩定化。

附圖說明

圖1是基于實施例的激光裝置的示意圖。

圖2A及圖2B分別是圖1所示的基于實施例的激光裝置的概略主視圖及概略俯視圖。

圖3A是表示圖1所示的基于實施例的激光裝置的光檢測器的位置處的光束分布的測定結果的灰度圖及圖表，圖3B是表示在不產生大氣的流動的狀態下測定的光束分布的測定結果的灰度圖及圖表。

圖4是基于另一實施例的激光裝置的光學室的立體圖。

圖中：10-激光振蕩器，11-光束擴展器，12-折射鏡，13-光圈，14-折射鏡，15-分支光學系統，16-折射鏡，17A、17B-光束掃描器，18A、18B-透鏡，19-光檢測器，20A、20B-加工對象物，21-工作臺，25-光學平臺，26-基座，27-罩體，30-鼓風機，31-開口。

具體實施方式

下面，參考圖1～圖3B，對基于實施例的激光裝置進行說明。

圖1是基于實施例的激光裝置的示意圖。激光振蕩器10輸出激光束。作為激光振蕩器10，可以使用輸出實質上不被大氣吸收的波長區域的激光束的激光振蕩器，例如可以使用二氧化碳激光振蕩器等。

在從激光振蕩器10輸出的激光束的光束路徑上，配置有光束擴展器11、折射鏡12、折射鏡14、折射鏡16、光圈13及分支光學系統15等光學組件。光束擴展器11改變從激光振蕩器10輸出的激光束的光束直徑及束散角。通過了光束擴展器11的激光束被折射鏡12反射而入射到光圈13。光圈13對激光束的光束截面進行整形。通過了光圈13的激光束被折射鏡14反射而入射到分支光學系統15。從激光振蕩器10至分支光學系統15為止的光束路徑與水平面大致平行。

分支光學系統15將入射的激光束分支成兩條光束路徑。作為分支光學系統15，可以使用半透半反鏡、偏振光束分離器等。