[發(fā)明專利]薄膜氣體探測(cè)器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811620907.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111380930A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫亞斐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張家港康得新光電材料有限公司
• 主分類號(hào): G01N27/26
• 分類號(hào): G01N27/26;G01N27/30
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明提供了一種薄膜氣體探測(cè)器，其包括柔性襯底，柔性電極層及探測(cè)層，其中，所述柔性電極層為還原氧化石墨烯(rGO,reduced graphene oxide)，探測(cè)層材料為還原氧化石墨烯?納米金屬氧化物復(fù)合材料(rGO?MON，reduced graphene oxide metal oxide nanomaterials)；柔性電極層具有多個(gè)溝道，所述探測(cè)材料設(shè)置于溝道中。通過(guò)設(shè)計(jì)多個(gè)溝道，使探測(cè)器在檢測(cè)時(shí)的信號(hào)變化形成放大效果，提高探測(cè)器檢測(cè)的靈敏度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及氣體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種薄膜氣體探測(cè)器。

背景技術(shù)

近年來(lái)，環(huán)境污染問(wèn)題日趨嚴(yán)峻，隨之而來(lái)的一系列問(wèn)題，包括如何評(píng)估環(huán)境對(duì)人體健康的影響、如何監(jiān)測(cè)監(jiān)控有毒有害氣體、如何處理及吸收有毒有害氣體已經(jīng)成為了一個(gè)世界范圍內(nèi)的重要課題。傳統(tǒng)的基于剛性硅基襯底氣體傳感器，雖然準(zhǔn)確度高，但由于剛性襯底不適用于不同表面的物體，限制了其應(yīng)用的廣泛性。然而，隨著智能可穿戴設(shè)備的快速發(fā)展，柔性電子已經(jīng)越來(lái)越多滲透到我們的日常生活中。基于柔性襯底的氣體傳感器，兼具了低成本、可彎曲、便攜輕便、可實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)等特點(diǎn)，使其廣泛適用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、公眾安全監(jiān)測(cè)、醫(yī)療健康監(jiān)控、食品安全監(jiān)管、農(nóng)業(yè)林業(yè)管理等多種不同應(yīng)用場(chǎng)景。柔性氣體傳感器的研究在現(xiàn)階段已成為氣體傳感器研究領(lǐng)域的熱門。。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種薄膜氣體探測(cè)器，以解決現(xiàn)有技術(shù)中氣體檢測(cè)敏感度的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，發(fā)明提供了一種薄膜氣體探測(cè)器，其包括柔性襯底，柔性電極層及探測(cè)材料，其中，所述柔性襯底優(yōu)選為聚酰亞胺，所述柔性電極層為石墨烯，具體為還原氧化石墨烯(rGO,reduced graphene oxide)，探測(cè)材料為還原氧化石墨烯-納米金屬氧化物復(fù)合材料(rGO-MON，reduced graphene oxide metal oxidenanomaterials)。

進(jìn)一步地，所述柔性電極層具有多個(gè)溝道，所述rGO-MON設(shè)置于溝道中。

進(jìn)一步地，所述薄膜氣體探測(cè)器還包括氣體通道，設(shè)置于氣體探測(cè)器表面。

進(jìn)一步地，所述氣體通道為活動(dòng)的設(shè)置于探測(cè)器表面。

進(jìn)一步地，所述氣體通道為選自不同材料制作。

應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案，通過(guò)在電極層設(shè)計(jì)多個(gè)溝道，使探測(cè)器在檢測(cè)時(shí)的信號(hào)變化形成放大效果，提高探測(cè)器檢測(cè)的靈敏度的可靠性，另外在探測(cè)器表面設(shè)置氣體通道，可以根據(jù)待測(cè)環(huán)境的不同，先借氣體通道過(guò)濾掉干擾氣體，以提高探測(cè)器檢測(cè)的靈敏度的可靠性。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書(shū)附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一種可選實(shí)施例的薄膜氣體探測(cè)器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的另一種可選實(shí)施例的薄膜氣體探測(cè)器的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記：

10：柔性襯底，20：柔性電極，21：溝道，30：探測(cè)層，40：氣體通道。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。以下對(duì)至少一個(gè)示例性實(shí)施例的描述實(shí)際上僅僅是說(shuō)明性的，決不作為對(duì)本發(fā)明及其應(yīng)用或使用的任何限制。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。