[發明專利]光程控制裝置及太赫茲時域光譜儀

在審

• 申請號: 201811619429.3
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109540835A
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 何堅兵;潘奕;丁峻峽;張前成
• 申請（專利權）人: 深圳市太赫茲科技創新研究院有限公司;華訊方舟科技有限公司
• 主分類號: G01N21/3586
• 分類號: G01N21/3586
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 高星

本發明涉及太赫茲技術領域，提供了一種光程控制裝置，包括至少兩個光線反射機構以及一個光程補償機構，其中，光線反射機構包括入光反射鏡和出光反射鏡，入光反射鏡用于將沿第一方向前進的光線反射至出光反射鏡，出光反射鏡用于將經入光反射鏡反射的光線沿第二方向反射出去，第一方向與第二方向反向設置；光程補償機構用于驅動各光線反射機構一并沿第一方向或第二方向往復運動。該光程控制裝置采用至少兩個光線反射機構對光線進行反射，擴大了光程有效調節范圍，并通過光程補償機構驅動至少兩個光線反射機構一并沿第一方向或第二方向往復運動以控制補償光路的光程，使結構緊湊，縮小其占用空間，適用于小型化、便攜化的太赫茲時域光譜儀中。

技術領域

本發明涉及太赫茲技術領域，尤其涉及一種光程控制裝置及應用該光程控制裝置的太赫茲時域光譜儀。

背景技術

太赫茲時域光譜技術是20世紀80年代中后期發展并新興的、非常有效的一種電磁輻射位相相干探測技術。相對于傳統的光譜學技術，太赫茲時域光譜技術因具有信噪比高、穩定性好、可有效探測材料在太赫茲波段的物理和化學信息、測量方便有效且對樣品無損、探測靈敏度高、能在室溫下穩定工作等優點，而被廣泛應用于成像、光譜分析、無損檢測、衛星通信等領域。

由于太赫茲時域光譜儀主要用于測量不同樣品的折射率、介電常數等數據，隨著樣品倉的切換，往往伴隨著光路的光程變化，因而，太赫茲時域光譜儀中需設置一個光程控制裝置以補償相應光路的光程變化。傳統的光程控制裝置通過在步進電機的平移臺上搭建一組對稱的反射鏡以實現光路的180度轉折，并通過步進電機驅動平移臺移動從而達到補償光路光程變化的目的，然而，該裝置占用空間大且有效光程調節范圍小，并不適用于小型化、系統化、商業化的太赫茲時域光譜儀中。

發明內容

本發明的目的在于提供一種光程控制裝置，旨在解決現有光程控制裝置占用空間大且有效光程調節范圍小的問題。

為解決上述技術問題，本發明的技術方案是：一種光程控制裝置，包括：

光線反射機構，所述光線反射機構至少設有兩個，所述光線反射機構包括入光反射鏡和出光反射鏡，其中，所述入光反射鏡用于將沿第一方向前進的光線反射至所述出光反射鏡，所述出光反射鏡用于將經所述入光反射鏡反射的光線沿第二方向反射出去，其中，所述第一方向與所述第二方向反向設置；

光程補償機構，所述光程補償機構用于驅動各所述光線反射機構一并沿所述第一方向或所述第二方向往復運動。

進一步地，所述光程控制裝置還包括至少一個中間反射機構，兩相鄰的所述光線反射機構中，一所述光線反射機構反射出的光線通過一所述中間反射機構沿所述第一方向反射出去，且反射至另一所述光線反射機構。

進一步地，所述中間反射機構包括第一中間反射鏡和第二中間反射鏡，其中，所述第一中間反射鏡用于將一所述光線反射機構反射出的光線反射至所述第二中間反射鏡，所述第二中間反射鏡用于將經所述第一中間反射鏡反射的光線沿所述第一方向反射出去，且反射至另一所述光線反射機構。

進一步地，所述光程補償機構包括用于移動所述光線反射機構一并沿所述第一方向或所述第二方向往復運動的移動機構以及用于驅動所述移動機構啟動或制動的驅動裝置，所述驅動裝置與所述移動機構連接。

進一步地，所述移動機構包括基座，所述基座包括依次連接的基座固定段以及基座配合段，所述基座固定段上開設有若干個用于固定連接所述移動機構的螺紋孔，所述基座配合段設于所述基座固定段之上，所述移動機構還包括滑軌以及與所述滑軌連接并沿所述滑軌滑動的滑塊，所述滑軌設于所述基座配合段相對的兩側。

進一步地，所述驅動裝置包括用于伸縮帶動所述滑塊沿所述滑軌往復運動的驅動軸，所述基座配合段設有用于提供所述驅動軸伸縮空間的凹槽，所述驅動軸與所述滑塊連接。