[發明專利]平面鈮靶材的制備方法

在審

• 申請號: 201811618660.0
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109706427A
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 李兆博;馬小文;汪凱;杜領會;宿康寧;李小平;李積賢;黃浩;楊烈;杜欣
• 申請（專利權）人: 寧夏東方鉭業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C22F1/18
• 代理公司: 廣州市一新專利商標事務所有限公司 44220
• 代理人: 張芳

1.一種平面鈮靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)取鈮錠進行鍛造，鍛造的具體方式為徑向型砧打圓軸向拔長，將鍛造后的鈮錠進行酸洗，將酸洗后的鈮錠進行熱處理；

(2)將步驟(1)得到的鈮錠進行再次鍛造，鍛造的具體方式為90度換向壓扁鍛造，將鍛造后的鈮錠進行酸洗，將酸洗后的鈮錠進行熱處理；

(3)將步驟(2)得到的鈮錠進行軋制得到鈮板，對鈮板進行熱處理，得到平面鈮靶材。

2.如權利要求1所述的平面鈮靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)中鍛造的加工率大于50％，步驟(2)中鍛造的加工率大于30％，步驟(3)中軋制的加工率大于50％。

3.如權利要求2所述的平面鈮靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)中鍛造的加工率55％～75％，步驟(2)中所述鍛造的加工率35％～55％，步驟(3)中軋制的加工率55％～75％。

4.如權利要求1所述的平面鈮靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)中鍛造的送進量為100～150mm，壓下量為30～60mm，步驟(2)中鍛造的送進量為80～120mm，壓下量為30～100mm。

5.如權利要求1所述的平面鈮靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)和步驟(2)中采用的酸洗溶液為體積比為1:2:3的氫氟酸、鹽酸和硝酸的混合溶液，其中氫氟酸的濃度為40wt％，鹽酸的濃度為37wt％，硝酸的濃度為65wt％。

6.如權利要求1所述的平面鈮靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)中熱處理的溫度為1000～1300℃，熱處理的保溫時間為60～120min；步驟(2)中熱處理的溫度為1000～1300℃，熱處理的保溫時間為60～120min；步驟(3)中熱處理的溫度為1100～1300℃，熱處理的保溫時間為90～120min。

7.如權利要求1所述的平面鈮靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)中作為原料的鈮錠為直徑150～350mm的圓錠。