[發明專利]一種高靈敏度次聲傳感器在審
| 申請號： | 201811613501.1 | 申請日： | 2018-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN109471157A | 公開（公告）日： | 2019-03-15 |
| 發明（設計）人： | 李超;林偉軍;崔寒茵 | 申請（專利權）人： | 中國科學院聲學研究所 |
| 主分類號： | G01V1/00 | 分類號： | G01V1/00 |
| 代理公司： | 北京億騰知識產權代理事務所 11309 | 代理人： | 陳霽 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 后腔 高靈敏度 膜片 前腔 次聲傳感器 開口處 光纖測量裝置 固定裝置 均壓管 膜振動 次聲 進氣口 開口 光纖 光學干涉測量 單色光源 光探測器 光纖一端 光學測量 連接耦合 振動信息 納米級 耦合器 穿出 底面 頂面 連通 平行 測量 | ||
【權利要求書】：
1.一種高靈敏度次聲傳感器，其特征在于，包括：次聲接收裝置和膜振動光纖測量裝置兩個部分；其中，
所述次聲接收裝置包括：前腔(1)和后腔(2)；其中，所述前腔(1)頂面設置有進氣口(3)，所述前腔(1)與后腔(2)之間設有第一開口和第二開口，所述第一開口處設置有均壓管(4)，所述均壓管(4)使前腔(1)與后腔(2)連通，所述第二開口處設置有膜片(5)，所訴后腔(2)內位于所述第二開口處設有固定裝置(6)；
所述膜振動光纖測量裝置包括：光纖(7)、耦合器(8)、光探測器(9)和單色光源(10)，所述光纖(7)一端通過所述固定裝置(6)固定，且端面與所述膜片(5)平行，光纖(7)另一端從所述后腔(3)底面穿出并連接耦合器(8)。
2.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述膜片(5)采用對光具有反射能力的材料，用于將光纖(7)導入的入射光進行反射，由于次聲信號引起膜片(5)的振動，進而改變反射光的光程，所述反射光與所述入射光在光纖(7)內形成干涉光。
3.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，設置不同的后腔(2)的容積和/或均壓管(4)的長度和直徑，用于測量不同頻率范圍的次聲。
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