[發明專利]一種基板的檢測方法

有效

• 申請號: 201811610474.2
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN109530244B
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 賀建騰
• 申請（專利權）人: 蘇州精瀨光電有限公司
• 主分類號: B07C5/00
• 分類號: B07C5/00;B07C5/02;B07C5/36
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種基板的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法包括：

步驟1：提供一種基板的檢測設備，所述檢測設備包括設置于支架（6）上的暫存載臺（21）、檢測機構（1）和搬運機構（3），所述檢測機構（1）包括翻轉臂組件（11）和檢測載臺（15）；

步驟2：放置基板（200）于所述檢測機構（1）或所述暫存載臺（21）上；其中，上游設備對基板（200）檢測后，搬運機構（3）將需要檢測的基板（200）放置于所述檢測機構（1）的所述檢測載臺（15）上；將不需要檢測的基板（200）放置于所述暫存載臺（21）上；

步驟3：若所述基板（200）位于所述暫存載臺（21）上，則進入步驟4；若所述基板（200）位于所述檢測機構（1），則對所述基板（200）進行檢測，并將檢測完的所述基板（200）自所述檢測機構（1）上卸載；

步驟4：將所述基板（200）自所述暫存載臺（21）上卸載；

所述步驟2包括放置所述基板（200）于所述檢測機構（1）中的所述檢測載臺（15）或所述暫存載臺（21）；

所述檢測設備具有所述暫存載臺（21）和所述檢測載臺（15）承接所述基板（200）的暫存位和所述檢測載臺（15）檢測所述基板（200）的檢測位，所述檢測載臺（15）可在所述暫存位與所述檢測位之間往復移動；放置所述基板（200）于所述檢測載臺（15）包括：

步驟21：驅動所述檢測載臺（15）移動至所述暫存位；

步驟22：放置所述基板（200）于所述檢測載臺（15）上；

步驟23：驅動所述檢測載臺（15）移動至所述檢測位。

2.根據權利要求1所述的基板的檢測方法，其特征在于，所述檢測設備還包括搬運機構（3），所述搬運機構（3）設置于所述支架（6）上，且包括入料搬運臂組件（33）；所述步驟2包括：驅動所述入料搬運臂組件（33）放置所述基板（200）于所述檢測機構（1）或所述暫存載臺（21）上。

3.根據權利要求2所述的基板的檢測方法，其特征在于，所述搬運機構（3）還包括中轉搬運臂組件（32）；所述步驟4包括：驅動所述中轉搬運臂組件（32）將所述基板（200）自所述暫存載臺（21）上卸載，或所述步驟3包括驅動所述中轉搬運臂組件（32）將所述基板（200）自所述檢測機構（1）上卸載。

4.根據權利要求3所述的基板的檢測方法，其特征在于，所述檢測設備還包括中轉載臺（4），所述檢測方法還包括步驟5：驅動所述中轉搬運臂組件（32）搬運所述基板（200）至所述中轉載臺（4）。

5.根據權利要求4所述的基板的檢測方法，其特征在于，所述檢測設備還包括貼標機構（5），所述檢測方法還包括步驟6：對所述中轉載臺（4）上的所述基板（200）進行貼標。

6.根據權利要求5所述的基板的檢測方法，其特征在于，所述搬運機構（3）還包括出料搬運臂組件（31），所述檢測方法還包括步驟7：驅動所述出料搬運臂組件（31）將完成貼標的所述基板（200）自所述中轉載臺（4）上卸載。

7.根據權利要求6所述的基板的檢測方法，其特征在于，所述中轉載臺（4）能夠在貼標位與出料位之間往復移動；所述步驟7包括：

步驟71：驅動所述中轉載臺（4）自所述貼標位移動至所述出料位；

步驟72：驅動所述出料搬運臂組件（31）將完成貼標的所述基板（200）自所述中轉載臺（4）上卸載。

8.根據權利要求1所述的基板的檢測方法，其特征在于，所述步驟3中，對所述基板（200）進行檢測包括：

步驟31：翻轉所述檢測載臺（15），檢測所述基板（200）的第一面；

步驟32：驅動所述翻轉臂組件（11）抓取所述基板（200）；

步驟33：驅動所述翻轉臂組件（11）翻轉，檢測所述基板（200）的第二面；其中，所述第一面與所述第二面相對。