[發明專利]一種柔性力熱集成傳感器

有效

• 申請號: 201811608998.8
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN109764981B
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發明（設計）人: 李祥明;邵金友;劉桂芳;田洪淼;王春慧;陳小亮
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G01L9/08;G01L19/00
• 代理公司: 61215 西安智大知識產權代理事務所
• 代理人: 賀建斌

1.一種柔性力熱集成傳感器的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

第一步，選擇柔性基底聚酰亞胺薄膜作為柔性襯底(1)，在柔性襯底(1)上通過光刻顯影濺射剝離的方法制作叉指電極結構的鉑電極(4)；

第二步，將柔性聚合物材料采用硅模具通過翻模工藝制備具有柵線結構的軟模具凹模(6)；

第三步，將壓電材料P(VDF-TrFE)粉末配置成為具有壓電功能的P(VDF-TrFE)溶液，作為壓電功能材料(3)；

第四步，將壓電功能材料(3)滴在PDMS柵線結構的軟模具凹模(6)上，進行刮涂填充，形成柵線內充分填充且柵線外不留膜的結構；

第五步，在具有鉑電極(4)的柔性襯底(1)上滴加無水乙醇(5)，將刮涂了壓電功能材料(3)的軟模具凹模(6)按壓在鉑電極(4)區，無水乙醇(5)在該區形成一層液膜，快速置于烘臺上加熱，無水乙醇(5)蒸發時，使壓電功能材料(3)從軟模具凹模(6)中脫離出來粘接于鉑電極(4)上；揭去軟模具凹模(6)，形成鉑電極-壓電功能材料的疊層結構；

第六步，將配制好的封裝膠PDMS 184(2)滴加在鉑電極-壓電功能材料的疊層結構上，自然流平封裝膠PDMS 184(2)將疊層結構區全部覆蓋；

第七步，將第六步處理后的結構置于110℃保溫箱，引線連接器件對其以20V/μm的大小施加電壓，此過程進行一小時，即完成極化，得到柔性力熱集成傳感器；

所述的一種柔性力熱集成傳感器，包括柔性襯底(1)，柔性襯底(1)上制作有叉指結構的鉑電極(4)，鉑電極(4)上制作有壓電功能材料(3)，鉑電極(4)、壓電功能材料(3)外封裝有封裝膠PDMS 184(2)。

2.根據權利要求1所述的一種柔性力熱集成傳感器的制作方法，其特征在于：所述的第三步中將壓電材料P(VDF-TrFE)粉末配置成為具有壓電功能的P(VDF-TrFE)溶液，具體為：將P(VDF-TrFE)粉末與二甲基甲酰胺(DMF)溶劑以1.5:10比例在60℃水浴下磁力攪拌至完全溶解，靜置脫泡配制成15％的P(VDF-TrFE)溶液，即為具有壓電功能的P(VDF-TrFE)溶液。