[發明專利]一種全超導微波腔體濾波器及其制備方法在審
| 申請號： | 201811607777.9 | 申請日： | 2018-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN109638396A | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發明（設計）人： | 呂琴麗;李帥;王樹茂 | 申請（專利權）人： | 有研工程技術研究院有限公司 |
| 主分類號： | H01P1/207 | 分類號： | H01P1/207;H01P11/00 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 張文寶 |
| 地址： | 101400 北京市懷*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 超導涂層 腔體濾波器 超導微波 濾波器 過渡層 制備 施加 濾波器結構 帶外抑制 金屬腔體 品質因素 體內表面 微波腔體 微波損耗 金屬腔 帶邊 內壁 阻帶 陡峭 微波 | ||
1.一種全超導微波腔體濾波器，其特征在于，包括主體，所述主體的腔體內表面有過渡層，以及施加于過渡層上的超導涂層。
2.如權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述的全超導微波腔體濾波器為近微波和L、S、C、X及Ku波段工作的腔體濾波器。
3.如權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述的全超導微波腔體濾波器能夠在77K以下溫度條件下工作。
4.如權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述的主體腔體由Fe、Cu或Ag材料制成。
5.如權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述的過渡層材料為CeO2或MgO，所述過渡層厚度為10～100nm。
6.如權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述的超導涂層為稀土鋇銅氧，所述超導涂層厚度為1～10um。
7.權利要求1-6中任一項所述全超導微波腔體濾波器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
A.采用常規金屬加工技術，制備微波腔體濾波器主體，包括腔體和蓋；
B.在所述腔體內表面上，采用物理或化學方法制備過渡層；
C.在上述過渡層上，采用物理或化學方法制備超導涂層；
D.將濾波器腔體和蓋通過螺釘進行固定，形成全超導微波腔體濾波器。
8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述過渡層采用反應磁控濺射方法或離子束輔助沉積方法制備，厚度為10～100nm。
9.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述超導涂層采用三氟乙酸鹽MOD方法制備，厚度為1～10um。
10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述三氟乙酸鹽MOD方法是以提拉涂覆的方式涂覆前驅液，經排水除膠和燒結兩個步驟形成超導涂層。
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