[發明專利]一種附有導流板的側吸式排氣管防污染裝置

在審

• 申請號: 201811601488.8
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109594118A
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 簡健哲;陳瀅如
• 申請（專利權）人: 安徽宏實自動化裝備有限公司
• 主分類號: C25D21/04
• 分類號: C25D21/04
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

本發明公開一種附有導流板的側吸式排氣管防污染裝置，包括側吸式排氣管主體，所述側吸式排氣管主體靠近上端位置活動安裝有導流板，所述側吸式排氣管主體靠近底端位置安裝有擋板，所述側吸式排氣管主體的內壁兩側均安裝有側板，所述側吸式排氣管主體內安裝有安裝板，所述側吸式排氣管主體的底端安裝有盛載底盒，所述安裝板上并列安裝有兩組風機；本發明一種附有導流板的側吸式排氣管防污染裝置能夠避免酸性氣體蒸發散逸后附著于產品四周，能夠引導蒸發的酸性氣體進入到側吸式排氣管內進行處理，增加了排氣效率，能夠對酸性氣體進行吸收過濾，具有較好的環保效果，有效的防止水滴附著于產品內壁，污染裝置及電鍍槽。

技術領域

本發明屬于半導體濕式制程設備技術領域，更具體的是一種附有導流板的側吸式排氣管防污染裝置。

背景技術

目前浸泡式浴槽式電鍍制程機臺,已在晶圓產業成熟發展，電鍍槽體的酸性化學液體,蒸發散逸后會污染機臺周邊,造成腐蝕或污染裝置影響質量,目前僅做簡單置頂排氣單一管路減低污染機率，減低污染效果不佳。隨著科技的不斷發展，排氣管防污染裝置在結構及功能上得到了相應的改進，但現有的排氣管防污染裝置還存在一定的不足，相信未來將會得到進一步完善，以滿足使用時的不同需求；

現有的排氣管防污染裝置在使用的過程中存在一定的弊端，直吸式排氣管路皆無導流板設計導致排除氣流不佳,造成產品污染，由于安裝在機臺的正上方,長時間使用后,周邊會凝結酸性水滴，存在嚴重的滴落污染,且又安裝距離電解液體表面最高最遠,在蒸氣上升的過程中,已經有部分擴散，環保的效果不佳。

發明內容

為了克服上述的技術問題，本發明的目的在于提供一種附有導流板的側吸式排氣管防污染裝置，通過設置側吸式排氣管，能夠有效的避免由于酸性液體蒸發散逸后的氣體附著于產品的四周，從而污染裝置甚至對其造成腐蝕，相對于直吸式排氣管，具有較好保護產品的作用，通過在側吸式排氣管上端安裝有導流板，能夠引導蒸發的酸性氣體順著導流板進入到側吸式排氣管內進行處理，增加了排氣效率，有效的避免由于氣體上升的氣流較強，導致部分酸性氣體不能被吸收，直接排入空氣中，能夠很好的吸收酸性氣體，有效的防止酸性氣體排入大氣中，具有較好的環保效果，有效的防止水滴附著于產品內壁，從而污染裝置及電鍍槽。

本發明的目的可以通過以下技術方案實現：

一種附有導流板的側吸式排氣管防污染裝置，包括側吸式排氣管主體，所述側吸式排氣管主體靠近上端位置活動安裝有導流板，所述側吸式排氣管主體靠近底端位置安裝有擋板，所述側吸式排氣管主體的內壁兩側均安裝有側板，所述側吸式排氣管主體內安裝有安裝板，所述側吸式排氣管主體的底端安裝有盛載底盒，所述安裝板上并列安裝有兩組風機；

所述側吸式排氣管主體遠離導流板一側安裝有排氣管道，所述安裝板的一側設置有氣體處理腔，所述氣體處理腔靠近上端設置有集氣區，所述集氣區的底端設置有氣體吸收箱，所述氣體處理腔的邊緣位置安裝有上凝結板，所述上凝結板的底端連接有下凝結板，所述上凝結板與側吸式排氣管主體上壁之間連接有拉桿，所述下凝結板底端安裝有引流板，所述側吸式排氣管主體靠近后端設置有導氣管；

所述上凝結板與下凝結板上均分布有若干組通氣孔，所述下凝結板的底端中間位置開設有限位凹槽，所述拉桿的一端安裝有吸墊，所述側吸式排氣管主體的上端靠近導流板開設有容納槽，所述容納槽的內部底端設置有滾珠槽，所述滾珠槽內并列分布有若干組滾珠。

作為本發明進一步的方案：所述風機四周均勻分布有八組安裝螺栓，所述風機的中心位置活動安裝有轉軸，所述轉軸四周安裝有六組扇葉。

作為本發明進一步的方案：所述上凝結板與下凝結板之間的夾角為120°，所述上凝結板與拉桿之間的夾角為六十度，且拉桿的數量為兩組。

作為本發明進一步的方案：所述導流板通過滾珠在容納槽內滾動，且導流板滑出與側吸式排氣管主體前端成110°夾角。