[發(fā)明專利]一種高效低耗PPT級高純氨水的制備方法

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• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109850917A
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設計）人: 阮汝明;曹傳興
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇達諾爾科技股份有限公司
• 主分類號: C01C1/02
• 分類號: C01C1/02
• 代理公司: 蘇州誠逸知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(特殊普通合伙) 32313
• 代理人: 高娟

1.一種高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(100)工業(yè)液氨蒸發(fā)提純：工業(yè)液氨進入蒸發(fā)器，通過熱水系統(tǒng)提供的熱能將工業(yè)液氨氣化成氨氣；

(200)凈化分離：將步驟(100)中氣化的氨氣經(jīng)過凈化分離器進行氣液分離，得到凈化后的氣氨，并除去大顆粒物質(zhì)；

(300)吸附：將步驟(200)得到的凈化后的氣氨進入吸附器，利用范德華力除去有機物質(zhì)，進一步對氣氨進行提純；

(400)過濾：將步驟(300)得到的氣氨經(jīng)過多孔膜進行過濾除顆粒；

(500)多級洗滌凈化除雜質(zhì)：將步驟(400)得到的氣氨進入洗滌凈化塔內(nèi)，采用洗滌液進行多級洗滌后得到高純氣氨，再將洗滌凈化塔中的洗滌回流液回流進入副產(chǎn)物氨水罐；

(600)氣液分離：洗滌凈化塔出來的高純氣氨經(jīng)過汽液分離器，進行氣液分離，得到高純氨氣；

(700)多級吸收：氣液分離器中出來的高純氨氣進入氣氨吸收塔，用DIW進行多級吸收，根據(jù)工藝需要得到不同濃度的超純氨水溶液；

(800)多級過濾：將步驟(700)中的超純氨水溶液經(jīng)過過濾器后進入成品罐得到PPT高純氨水。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，所述步驟(100)中熱水系統(tǒng)的溫度控制在35℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，步驟(500)中洗滌凈化塔的溫度通過第一熱交換器控制在20-35℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，步驟(500)中的洗滌凈化塔從下往上依次包括第一填料層、泡罩型洗滌單元、第二填料層和除沫層；步驟(400)得到的氣氨進入洗滌凈化塔內(nèi)，先通過洗滌液進行洗滌脫除大部分雜質(zhì)，再在洗滌凈化塔內(nèi)依次經(jīng)過第一填料層、泡罩型洗滌單元、第二填料層和除沫層深度脫除雜質(zhì)，得到高純氣氨。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，所述第一填料層為PFA填料層。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，所述第二填料層為PFA填料層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或4任一所述的高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，所述高純氣氨的雜質(zhì)含量小于10ppt。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或4任一所述的高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，所述洗滌液為超純水。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，步驟(700)中氣氨吸收塔的溫度通過第二熱交換器控制在30℃，壓力為5-20KPa。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效低耗PPT級高純氨水的制備方法，其特征在于，步驟(800)中所述的PPT高純氨水中大于等于0.5μm的顆粒數(shù)小于3.5個/ml，大于等于0.2μm的顆粒數(shù)目小于35個/ml，單項金屬離子含量小于10PPT。