[發(fā)明專利]一種超高純硅溶膠的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811601337.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-26
• 公開（公告）號(hào): CN109455724A
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魯原野;龍立華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇德鑫新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C01B33/141
• 分類號(hào): C01B33/141
• 代理公司: 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32330
• 代理人: 金波

1.一種超高純硅溶膠的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)將多晶硅破碎成粒粉，取破碎好的硅粉100～600g，用鹽酸和氫氟酸混合溶液浸泡10～50min，然后對(duì)其進(jìn)行抽濾，用超純水過(guò)濾至過(guò)濾溶液的pH值為中性，得到酸洗硅粉；

2)取1000g的超純水加入0.05～5％的堿和步驟(1)所得的酸洗硅粉，加熱至40-80℃，保溫至72小時(shí)，過(guò)濾后溶液備用；

3)步驟1)所得的酸洗硅粉100～200g，放入1000g超純水中，加入50～100g步驟2)的溶液，加熱至40-80度保溫72小時(shí)；

4)取步驟3)的溶液，進(jìn)行真空抽率，得到半透明溶液即為超高純硅溶膠。

2.如權(quán)利要去1所述的超高純硅溶膠的制備方法，其特征在于，所述的多晶硅的純度大于6N。

3.如權(quán)利要去1所述的超高純硅溶膠的制備方法，其特征在于，所述步驟1)中將多晶硅破碎成粒徑為0.05-5mm的硅粉。

4.如權(quán)利要去1所述的超高純硅溶膠的制備方法，其特征在于，所述超純水的電阻率大于10兆歐。