[發(fā)明專利]一種二自由度微納定位平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811599323.1
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109493913B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 紀(jì)華偉;李天翼
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州電子科技大學(xué)
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 浙江千克知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33246
• 代理人: 周希良

1.一種二自由度微納定位平臺，其特征在于：包括基座、運(yùn)動平臺、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、解耦機(jī)構(gòu)、驅(qū)動器；所述基座中部設(shè)有所述運(yùn)動平臺，所述運(yùn)動平臺四周連接有所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)又與所述解耦機(jī)構(gòu)連接，所述解耦機(jī)構(gòu)與所述基座連接，放大機(jī)構(gòu)置于所述運(yùn)動平臺和所述解耦機(jī)構(gòu)之間，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)罩設(shè)于放大機(jī)構(gòu)外側(cè)，放大機(jī)構(gòu)位于運(yùn)動平臺、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和解耦機(jī)構(gòu)中間，所述放大機(jī)構(gòu)與解耦機(jī)構(gòu)連接，所述放大機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有驅(qū)動器，所述驅(qū)動器用于驅(qū)動所述運(yùn)動平臺。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于：所述解耦機(jī)構(gòu)設(shè)有四組，解耦機(jī)構(gòu)包括中間桿和設(shè)于中間桿兩端的解耦柔順構(gòu)件；所述中間桿與所述放大機(jī)構(gòu)連接；所述解耦柔順構(gòu)件與所述基座連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于：解耦機(jī)構(gòu)相對于所述運(yùn)動平臺的中心對稱分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于：所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)有四組，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括設(shè)于兩端的導(dǎo)向柔順構(gòu)件，所述導(dǎo)向柔順構(gòu)件一端與所述運(yùn)動平臺連接，導(dǎo)向柔順構(gòu)件的另一端與解耦機(jī)構(gòu)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于：所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)有四組，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括設(shè)于兩端的導(dǎo)向柔順構(gòu)件，所述導(dǎo)向柔順構(gòu)件一端與所述運(yùn)動平臺連接，導(dǎo)向柔順構(gòu)件的另一端與中間桿連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于：所述放大機(jī)構(gòu)設(shè)有固定端及輸出端，所述固定端設(shè)有固定孔，所述輸出端與所述解耦機(jī)構(gòu)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于：所述的一種二自由度微納定位平臺采用一體化加工方式。