[發(fā)明專利]一種晶圓高速旋轉(zhuǎn)真空吸附主軸

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811599206.5
• 申請(qǐng)日: 2018-12-26
• 公開（公告）號(hào): CN109461692A
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏猛;張爽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽芯達(dá)科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 孫奇

1.一種晶圓高速旋轉(zhuǎn)真空吸附主軸，其特征在于：包括主軸、密封圈法蘭a、密封圈法蘭b和自復(fù)位密封圈；

所述主軸一側(cè)設(shè)有真空通道，且端面為開放端，與晶圓支撐平臺(tái)連接，另一側(cè)與電機(jī)相連；

所述密封圈法蘭b相對(duì)位置開有真空通道連接口，自復(fù)位密封圈設(shè)置在真空通道連接口上，用于密封真空通道，防止真空通道與大氣相通；

所述主軸的真空通道下部周圍開有氣孔，用來與真空通道連接口連接；

所述密封圈法蘭b設(shè)置在主軸上，密封圈法蘭a通過螺栓固定在密封圈法蘭b槽內(nèi)，且頂在自復(fù)位密封圈兩端；

所述密封圈法蘭a和密封圈法蘭b上縱向?qū)ΨQ分別設(shè)有惰性氣體連接口和真空連接口；

所述自復(fù)位密封圈采用惰性氣體調(diào)節(jié)需密封面接觸力，用于精確控制密封效果；

通過自復(fù)位密封圈接口連接的傳感器反饋?zhàn)詮?fù)位密封圈的壓力值，在三通比例閥的控制下閉環(huán)控制一個(gè)或多個(gè)設(shè)定壓力，使密封圈始終處在一個(gè)根據(jù)實(shí)際需要規(guī)定的密封效果。

2.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓高速旋轉(zhuǎn)真空吸附主軸，其特征在于：所述自復(fù)位密封圈為O型圈，其內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，留有一個(gè)連接廓形氣體及壓力傳感器的接口。

3.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓高速旋轉(zhuǎn)真空吸附主軸，其特征在于：所述自復(fù)位密封圈為兩個(gè)。

4.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓高速旋轉(zhuǎn)真空吸附主軸，其特征在于：所述氣孔可根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定數(shù)量與排布方式。