[發明專利]一種應用于半導體領域的涂層的潔凈度的檢測方法在審
| 申請號： | 201811598346.0 | 申請日： | 2018-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN109632926A | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發明（設計）人： | 郭昊;劉紅霞;郁忠杰;李加;徐俊陽;王嘉雨 | 申請（專利權）人： | 沈陽富創精密設備有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/62 | 分類號： | G01N27/62;G01N1/34;G01N1/38 |
| 代理公司： | 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞魯江 |
| 地址： | 110000 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 潔凈度 半導體領域 水滴 稀酸 直尺 電感耦合等離子體質譜儀 檢測結果 零件涂層 制備應用 可信度 外標法 稱重 稀釋 去除 應用 清洗 | ||
1.一種應用于半導體領域的涂層的潔凈度的檢測方法，其特征在于，
主要包括以下幾個步驟：
1)將1-4ml稀酸滴到零件涂層區域，數分鐘后收集稀酸稱重并檢測；
2)清洗吹干后，取1-4ml水滴在與酸相同的區域，用直尺做標準，拍下照片，用軟件算出面積；
3)將稀釋后的樣品用外標法進行檢測，該方法獲得的檢測結果去除干擾較徹底。
2.如權利要求1所述的涂層的潔凈度的檢測方法，其特征在于，所述步驟1)的稀酸采用電子級硝酸或Tamapure硝酸，微量移液槍采用全部塑料材料的高精度移液槍。
3.如權利要求1所述的涂層的潔凈度的檢測方法，其特征在于，所述步驟2)需要用噴淋水洗7min后氮氣吹干后再滴入1-4ml水；直尺要和水所形成的區域同時被照相機所記錄；通過ImageJ軟件算出1-4ml水所形成面積。
4.如權利要求1所述的涂層的潔凈度的檢測方法，其特征在于，所述步驟3)PE的ICPMS，氬氣純度≥99.996％，氣壓85psi-100psi氨氣純度>99.999％，氨氣壓力10-20psi。
5.如權利要求1所述的涂層的潔凈度的檢測方法，其特征在于，試劑瓶采用PFA材質的試劑瓶。
6.如權利要求1所述的涂層的潔凈度的檢測方法，其特征在于，ICPMS所使用的是去干擾能力強的DRC反應模式。
7.如權利要求1所述的涂層的潔凈度的檢測方法，其特征在于，
該檢測方法可應用在氧化釔、氧化鋁涂層上。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于沈陽富創精密設備有限公司，未經沈陽富創精密設備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201811598346.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
