[發明專利]一種超微小孔的機械加工工藝

在審

• 申請號: 201811598329.7
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109807688A
• 公開（公告）日: 2019-05-28
• 發明（設計）人: 許國慶;張艷娟
• 申請（專利權）人: 沈陽富創精密設備有限公司
• 主分類號: B23Q17/20
• 分類號: B23Q17/20
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

本發明一種超微小孔的機械加工工藝，其特征在于，關鍵在與整理記錄小孔的實際氣體流速，并分析記錄均值和偏離值，來判斷氣體流量是否均勻；主要步驟如下：(1)調試好氣體流量檢測儀后，根據小孔類型，使用軟件自動記錄小孔實際氣體流速數據。(2)將記錄的氣體流速數據整理到Excel表格里。(3)分析這些氣體流速數據的平均值和離散值。(4)最后通過小孔實際值和理論計算值對比，得出結論，此件勻氣盤的超微小孔是否合格。檢測超微小孔表面粗糙度和小孔直徑等尺寸實際狀況是否符合加工要求。

技術領域

本發明屬于半導體關鍵零部件勻氣盤的小孔檢測工藝，具體說是模 擬實際使用來檢測超微小孔直徑，通過氣體流速計算出超微小孔實際直 徑的平均值和偏離值，來判斷超微小孔是否滿足質量要求。

背景技術

勻氣盤是由精密打孔CNC機臺加工，在離子刻蝕,CVD等領域使用 勻氣盤時，超微小孔氣體流速對晶圓質量有著非常關鍵的影響，本檢測 方法主要是完全模仿氣體通過各種直徑的超微小孔流動時的流速，將小 孔的孔徑，長度，面粗度等因素轉化成氣體流速大小，并用專用軟件記 錄不同尺寸小孔的氣體流速，來判斷此片勻氣盤是否合格。

發明內容

為了達到超微小孔的檢測技術要求，通過使用Flow test(氣體流量檢 測儀)來模擬勻氣盤上超微小孔的實際使用情況，記錄氣體通過小孔時的 流速，直接反映超微小孔的直徑大小及表面光潔度/粗糙度是否符合圖紙 尺寸要求，本發明的目的是提供了一種簡潔高效方便的超微小孔檢測工 藝。

本發明采用的技術方案是：

一種超微小孔的機械加工工藝，關鍵在與整理記錄小孔的實際氣體 流速，并分析記錄均值和偏離值，來判斷氣體流量是否均勻：

主要步驟如下：

(1)調試好氣體流量檢測儀后，根據小孔類型，使用軟件自動記 錄小孔實際氣體流速數據。

(2)將記錄的氣體流速數據整理到Excel表格里。

(3)分析這些氣體流速數據的平均值和離散值。

(4)最后通過小孔實際值和理論計算值對比，得出結論，此件勻 氣盤的超微小孔是否合格。

所述第(1)步驟，使用Win Wedge v3.5.0軟件，并按照指導說明 書完成安裝。

所述第(2)步驟，使用Excel表格，來記錄整理小孔實際尺寸數據， 并根據大量實驗分析得出小孔流速的理論最大值和理論最小值。

所述第(3)步驟中通過小孔實際數據情況分析出這些小孔的平均 值和離散值。

所述第(4)步驟中通過測量的實際值和小孔理論值對比分析，來 得此件勻氣盤是否合格的結論。

本發明的優點是：

1.通過發明的Excel表格格式，來記錄整理小孔實際尺寸。

2.分析小孔的變化趨勢分析，得出此勻氣盤是否是合格產品。

3.將超微小孔的直徑/面粗度/內側壁長度等不易檢測尺寸，轉化為僅 僅檢測氣體流速，實現了快速檢測產品，為穩定量產做好檢測準備。

附圖說明

圖1圖紙上小孔分布示意圖。

圖2小孔數據變化曲線圖。

具體實施方式

下面結合說明書附圖1-2對本發明進一步詳細說明。

實施例

(1)使用相關軟件來記錄實際多個小孔氣體流速并分析數據，按 照圖紙上不同小孔直徑，使用探針測量相關位置的小孔直徑并記錄 到Excel表格中。