[發(fā)明專利]研磨裝置及研磨方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811597659.4 | 申請(qǐng)日： | 2018-12-26 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110026881B | 公開(kāi)（公告）日： | 2022-04-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 山田健人;田中忠雄;中村正三;神頭宏俊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 信越半導(dǎo)體株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/00 | 分類號(hào)： | B24B37/00;B24B37/34;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京京萬(wàn)通知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11440 | 代理人： | 許天易 |
| 地址： | 日本東京都千*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 裝置 方法 | ||
1.一種研磨裝置，是為批次式，所述研磨裝置包含：
定盤(pán)，貼附有研磨布；
中心滾筒及導(dǎo)引滾筒，分別配設(shè)在所述定盤(pán)上的中心及外周；以及
頂輪，支承多片晶圓，該頂輪與所述中心滾筒為得以旋轉(zhuǎn)地接觸且該頂輪與所述導(dǎo)引滾筒為得以旋轉(zhuǎn)地接觸，
所述研磨裝置在通過(guò)所述定盤(pán)的旋轉(zhuǎn)而使所述頂輪旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，將以所述頂輪所支承的多片所述晶圓推靠在所述研磨布而進(jìn)行研磨，
其中，所述頂輪將支承多片所述晶圓的底盤(pán)予以支承在下方，
所述頂輪在外周側(cè)面中，在與所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒相對(duì)向的區(qū)域設(shè)置有一個(gè)以上的外周溝，以所述外周溝以外的對(duì)向區(qū)域與所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒接觸，或是
所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒，在各滾筒面中，在與所述頂輪相對(duì)向的區(qū)域設(shè)置有一個(gè)以上的滾筒溝，以所述滾筒溝以外的對(duì)向區(qū)域與所述頂輪接觸。
2.一種研磨方法，是為批次式，所述研磨方法為：
在貼附有研磨布的定盤(pán)上的中心及外周分別配設(shè)中心滾筒及導(dǎo)引滾筒，將與所述中心滾筒為得以旋轉(zhuǎn)地接觸且與所述導(dǎo)引滾筒為得以旋轉(zhuǎn)地接觸的頂輪所支承的多片晶圓，在通過(guò)所述定盤(pán)的旋轉(zhuǎn)而使所述頂輪旋轉(zhuǎn)的同時(shí)予以推靠在所述研磨布而進(jìn)行研磨，
其中，通過(guò)所述頂輪與所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒接觸，且一邊通過(guò)所述頂輪將支承多片所述晶圓的底盤(pán)予以支承在下方，而一邊研磨所述晶圓時(shí)，
使所述頂輪的外周側(cè)面中，與所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒相對(duì)向的區(qū)域設(shè)置有一個(gè)以上的外周溝，以所述外周溝以外的對(duì)向區(qū)域與所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒接觸而進(jìn)行研磨，或是
使所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒，在各滾筒面中，與所述頂輪相對(duì)向的區(qū)域設(shè)置有一個(gè)以上的滾筒溝，以所述滾筒溝以外的對(duì)向區(qū)域與所述頂輪接觸而進(jìn)行研磨。
3.一種研磨裝置，是為批次式，所述研磨裝置包含：
定盤(pán)，貼附有研磨布；
中心滾筒及導(dǎo)引滾筒，分別配設(shè)在所述定盤(pán)上的中心及外周；以及
頂輪，支承多片晶圓，該頂輪與所述中心滾筒為得以旋轉(zhuǎn)地接觸且該頂輪與所述導(dǎo)引滾筒為得以旋轉(zhuǎn)地接觸，
所述研磨裝置在通過(guò)所述定盤(pán)的旋轉(zhuǎn)而使所述頂輪旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，將以所述頂輪所支承的多片所述晶圓推靠在所述研磨布而進(jìn)行研磨，
其中，所述頂輪將支承多片所述晶圓的底盤(pán)予以支承在下方，
所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒與所述頂輪為透過(guò)O型環(huán)接觸。
4.一種研磨方法，是為批次式，所述研磨方法為：
在貼附有研磨布的定盤(pán)上的中心及外周分別配設(shè)中心滾筒及導(dǎo)引滾筒，將與所述中心滾筒為得以旋轉(zhuǎn)地接觸且與所述導(dǎo)引滾筒為得以旋轉(zhuǎn)地接觸的頂輪所支承的多片晶圓，在通過(guò)所述定盤(pán)的旋轉(zhuǎn)而使所述頂輪旋轉(zhuǎn)的同時(shí)予以推靠在所述研磨布而進(jìn)行研磨，
其中，通過(guò)所述頂輪與所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒接觸，且一邊通過(guò)所述頂輪將支承多片所述晶圓的底盤(pán)予以支承在下方，而一邊研磨多片所述晶圓時(shí)，使所述中心滾筒及所述導(dǎo)引滾筒與所述頂輪為透過(guò)O型環(huán)接觸而進(jìn)行研磨。
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