[發明專利]用于增強基于反射鏡的光成像帶電粒子顯微鏡中SE檢測的方法和設備在審
| 申請號： | 201811596451.0 | 申請日： | 2018-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN109975341A | 公開（公告）日： | 2019-07-05 |
| 發明（設計）人： | G.格萊德修;M.馬祖茲 | 申請（專利權）人： | FEI公司 |
| 主分類號： | G01N23/22 | 分類號： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 張凌苗;申屠偉進 |
| 地址： | 美國俄*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 反射器 樣品位置 方法和設備 帶電粒子 反射鏡 光成像 顯微鏡 二次帶電粒子 帶電粒子束 光電檢測器 轉向電極 發射 光引導 組合件 光子 檢測 聚焦 | ||
1.一種設備，其包括：
反射器，其定位在樣品位置附近，所述樣品位置被定位成從帶電粒子束(CPB)聚焦組合件沿CPB軸線接收CPB，使得所述反射器被定位成接收基于CPB-樣品相互作用或光子-樣品相互作用從所述樣品位置處的樣品發射的光并且將所述光引導到光電檢測器；以及
轉向電極，其定位在所述反射器附近，以便將基于所述CPB-樣品相互作用從所述樣品發射的二次帶電粒子引導遠離所述反射器和所述CPB軸線。
2.根據權利要求1所述的設備，其中所述反射器是被定位成沿光軸準直或聚焦所述光的彎曲反射器。
3.根據權利要求2所述的設備，其中所述彎曲反射器是拋物面反射器或橢圓形反射器。
4.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括移動臺，所述移動臺聯接到所述反射器并且被定位成相對于所述CPB軸線或所述樣品位置移動所述反射器。
5.根據權利要求1所述的設備，其中所述反射器的長度包含延伸部，所述延伸部為從所述樣品發射的所述光提供額外的收集角并且具有至少部分地基于所述使用所述轉向電極將所述二次帶電粒子引導遠離所述反射器的延伸部長度。
6.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括移動臺，所述移動臺聯接到所述轉向電極并且被定位成改變所述轉向電極與所述反射器或所述CPB軸線之間的距離和角度中的一個或多個。
7.根據權利要求6所述的設備，其中所述轉向電極包括天線電極。
8.根據權利要求6所述的設備，其中所述轉向電極包括靜電板。
9.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括二次帶電粒子檢測器，其被定位成接收從所述樣品發射并且由所述轉向電極引導的所述二次帶電粒子。
10.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括所述CPB聚焦組合件，其被定位成沿著所述CPB軸線將所述CPB引導到所述樣品位置處的焦點。
11.根據權利要求1所述的設備，其中所述CPB包括電子束，所述第二帶電粒子包括二次電子，并且所述光包括陰極發光。
12.根據權利要求11所述的設備，其中所述反射器的長度包含延伸部，所述延伸部為從所述樣品發射的所述光提供額外的收集角并且具有至少部分地基于所述使用反射器偏置引導所述二次帶電粒子的延伸部長度。
13.根據權利要求1所述的設備，其中所述反射器和所述轉向電極被定位成同時將所述光引導到所述光電檢測器并且將所述二次帶電粒子引導到二次帶電粒子檢測器。
14.根據權利要求1所述的設備，其中所述反射器被定位成接收電壓以便提供偏置，所述偏置將所述二次帶電粒子引導遠離所述反射器和所述CPB軸線。
15.根據權利要求14所述的設備，其中所述反射器被定位成在所述反射器的不同部分處接收不同的電壓。
16.根據權利要求15所述的設備，其中所述不同部分包括第一部分和第二部分，其中所述第一部分比所述第二部分接收更大的偏置，其中所述第一部分沿著與所述樣品位置相鄰的強彎曲部分，并且所述第二電壓沿著與所述樣品位置相鄰的較弱彎曲部分。
17.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括光源，所述光源被配置成發射光束以產生所述光子-樣品相互作用。
18.根據權利要求17所述的設備，其中從所述樣品發射的所述光與拉曼發射相對應。
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