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[發(fā)明專利]高密度檢測對象的檢測區(qū)域的選擇方法及其X射線管裝置在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201811593663.3 申請日: 2018-12-25
公開(公告)號: CN111157550A 公開(公告)日: 2020-05-15
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 金亨哲;金起范;金東郁 申請(專利權(quán))人: 嘉必思股份有限公司
主分類號: G01N23/04 分類號: G01N23/04
代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 代理人: 崔龍鉉;王璇
地址: 韓國*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 高密度 檢測 對象 區(qū)域 選擇 方法 及其 射線 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種高密度檢測對象的檢測區(qū)域的選擇方法,包括以下步驟:

確定包括X射線管和檢測器的檢測模塊和檢測站點(diǎn)的位置;

從位于檢測站點(diǎn)的檢測對象中確定檢測區(qū)域;

旋轉(zhuǎn)檢測區(qū)域或檢測器,以獲取二維傾斜圖像;以及

從獲取的二維傾斜圖像中選擇檢測部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高密度檢測對象的檢測區(qū)域的選擇方法,其特征在于,在以預(yù)先確定的角度旋轉(zhuǎn)X射線管或檢測器的狀態(tài)下獲取二維傾斜圖像。

3.一種保護(hù)檢測對象的目標(biāo)限制結(jié)構(gòu)的X射線管裝置,其特征在于,用于檢測高密度集成電路,并且包括:

管體(51),產(chǎn)生X射線并向目標(biāo)(T)放射;

限制引導(dǎo)單元(52),將從管體(51)放射的X射線(XT、XP)引導(dǎo)至引導(dǎo)孔(521);以及

屏蔽過濾器(53),調(diào)節(jié)通過引導(dǎo)孔(521)引導(dǎo)的X射線的量,

其中,所述屏蔽過濾器(53)以引導(dǎo)孔(521)為基準(zhǔn)可移動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的保護(hù)檢測對象的目標(biāo)限制結(jié)構(gòu)的X射線管裝置,其特征在于,限制引導(dǎo)單元(52)為準(zhǔn)直儀。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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