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[發(fā)明專利]一種異性堆疊石墨烯的制備方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201811592551.6 申請日: 2018-12-25
公開(公告)號: CN109987597B 公開(公告)日: 2020-10-30
發(fā)明(設(shè)計)人: 陳達(dá);李久榮;王剛;趙夢晗;胡緒瑞;朱偉 申請(專利權(quán))人: 寧波大學(xué)
主分類號: C01B32/184 分類號: C01B32/184
代理公司: 杭州五洲普華專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33260 代理人: 丁少華
地址: 315211 浙*** 國省代碼: 浙江;33
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 異性 堆疊 石墨 制備 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種異性堆疊石墨烯的制備方法,其特征在于:包括如下步驟:

步驟①:準(zhǔn)備絕緣或半導(dǎo)體的襯底;

步驟②:在襯底的表面制備層狀分布的鎳層和摻雜碳源層,并且使得鎳層和摻雜碳源層直接接觸;

步驟③:對摻雜碳源層進(jìn)行加熱退火,使得碳融入到鎳層中,然后進(jìn)行降溫,使得鎳層的一側(cè)生長摻雜石墨烯,另一側(cè)生長純石墨烯;

步驟④:退火蒸發(fā)鎳層,使得摻雜石墨烯和純石墨烯呈層狀分布且相互接觸;

步驟③中,摻雜碳源層的加熱溫度為800-900℃,并在800-900℃下保溫2-15min,降溫速率為25-30℃/min;

步驟②中,摻雜碳源層包括碳源層和摻雜層,碳源層位于摻雜層和鎳層之間;

步驟②中,襯底的表面先旋涂摻雜液體形成摻雜層,再旋涂碳源液體形成碳源層,最后在碳源層表面電子束蒸發(fā)Ni形成鎳層,形成襯底、摻雜層、碳源層和鎳層的層狀分布結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異性堆疊石墨烯的制備方法,其特征在于:步驟④完成后重復(fù)步驟②、步驟③和步驟④。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異性堆疊石墨烯的制備方法,其特征在于:所述摻雜碳源層中的摻雜元素為N、S、P和B中的一種或多種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異性堆疊石墨烯的制備方法,其特征在于:所述碳源液體為PMMA。

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