[發明專利]電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置

有效

• 申請號: 201811592175.0
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN110007211B
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 中村敏
• 申請（專利權）人: 北星科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;吳孟秋

提供一種電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置，電子部件輸送裝置具備：輸送部，將電子部件輸送至檢查部，輸送部具有第一部件以及第二部件，第一部件具有第一基部、相對于第一基部滑動的第一滑動部、以及由第一基部和第一滑動部劃定的第一空間，第二部件具有安裝于第一滑動部的第二基部、相對于第二基部滑動且與電子部件抵接的第二滑動部、以及由第二基部和第二滑動部劃定的第二空間；管道部，具有與第二空間連通且向第二空間供給工作流體的流路；流量傳感器，配置于流路，檢測工作流體的流量；調壓部，調整工作流體的壓力；以及控制部，使第二滑動部保持電子部件，使第二滑動部將電子部件按壓至檢查部。

技術領域

本發明涉及電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。

背景技術

以往，已知有對IC封裝等電子部件進行測試的測試裝置(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1中記載的測試裝置具備：推動機，在保持電子部件的狀態下，將該電子部件按壓至測試用插座；以及壓力檢測單元，與推動機連結，檢測在該推動機將電子部件按壓至插座時的壓力(按壓力)。并且，在專利文獻1記載的測試裝置中，在對電子部件進行測試時，能夠基于壓力檢測單元的檢測結果檢測到推動機是否以預定的壓力將電子部件按壓至插座。

專利文獻1：日本特開2003-161758號公報

然而，在專利文獻1中記載的測試裝置中，例如，由于電子部件的大小(厚度)及形狀(彎曲及傾斜的形狀)、電子部件載置部(插座)和推動機間的平行性等，電子部件的各焊球的端子與插座的各觸針并不限于均勻地接觸。并且，各焊球的端子與各觸針若非均勻地接觸，則有可能無法正確地進行對電子部件的測試。

發明內容

本發明以解決上述的問題為目的，能夠作為以下的方式或者應用例來實現。

[應用例1]本實施方式涉及的電子部件輸送裝置，其特征在于，具備：輸送部，所述輸送部具有第一部件以及第二部件，所述第一部件具有第一基部和相對于所述第一基部滑動的第一滑動部，所述第二部件具有配置于第一滑動部的可裝卸的第二基部和相對于所述第二基部滑動且與電子部件抵接的第二滑動部；流路，與第二空間連通，并向所述第二空間供給工作流體；流量傳感器，設置于所述流路，檢測所述工作流體的流量；以及調壓部，調整所述工作流體的壓力，所述第一部件在所述第一基部與所述第一滑動部之間形成有第一空間，所述第二部件在所述第二基部與所述第二滑動部之間形成有第二空間，用所述第二滑動部保持所述電子部件，并將所述電子部件按壓至檢查部的探針。

根據本實施例，在檢查部進行對電子部件的電氣檢查時，能夠無視電子部件的個體差別，使電子部件的各端子與檢查部的各端子均勻地抵接，因此，能夠正確地進行該檢查。

[應用例2]在上述應用例記載的電子部件輸送裝置中，優選所述工作流體能夠進出所述第一空間以及所述第二空間。

根據本應用例，能夠使第一滑動部滑動，并且能夠使第二滑動部滑動。

[應用例3]在上述應用例記載的電子部件輸送裝置中，優選具有：開閉部，設置于所述流路并對所述流路進行開閉；以及判斷部，基于所述流量傳感器檢測的流量判斷所述開閉部的開閉。

根據本應用例，能夠防止來自第二空間的工作流體的泄漏。

[應用例4]在上述應用例記載的電子部件輸送裝置中，優選所述流量傳感器配置于所述開閉部與所述第二部件的所述第二空間之間。

根據本應用例，由于比開閉部更前端被切斷，能夠防止誤檢測。

[應用例5]在上述應用例記載的電子部件輸送裝置中，優選地，若所述流量傳感器檢測到所述工作流體的預定流量，則所述判斷部輸出報警。

根據本應用例，能夠根據報警檢測預定流量。

[應用例6]在上述應用例記載的電子部件輸送裝置中，優選所述第二基部能夠與載置所述電子部件的電子部件載置部抵接。