[發明專利]一種用于離子束束流流強和位置測量的交叉多絲探針

有效

• 申請號: 201811591980.1
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109490943B
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 丁開忠;姚凱;吳昱城;宋云濤;陳永華;李君君;連歡;胡樂星
• 申請（專利權）人: 合肥中科離子醫學技術裝備有限公司
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

1.一種用于離子束束流流強和位置測量的交叉多絲探針，其特征在于，包括傳動座(1)和氮化鋁陶瓷支撐板(4)，所述氮化鋁陶瓷支撐板(4)安裝在輔助支撐架(3)的上部，所述輔助支撐架(3)一端通過銷釘(2)固定連接在傳動座(1)的上部，所述氮化鋁陶瓷支撐板(4)的內部中端安裝有第二鍍金鎢絲靶(6)，內部的一端安裝有第一鍍金鎢絲靶(5)，內部的另一端安裝有第三鍍金鎢絲靶(7)，所述第一鍍金鎢絲靶(5)、第二鍍金鎢絲靶(6)和第三鍍金鎢絲靶(7)的兩端均貫穿連接氮化鋁陶瓷支撐板(4)的上下兩端，所述第一鍍金鎢絲靶(5)、第二鍍金鎢絲靶(6)和第三鍍金鎢絲靶(7)的頂部依次分別連接有第一信號線(8)、第二信號線(9)和第三信號線(10)；

所述第二鍍金鎢絲靶(6)在氮化鋁陶瓷支撐板(4)的內部中端呈縱向設置，第一鍍金鎢絲靶(5)和第三鍍金鎢絲靶(7)的頂部在氮化鋁陶瓷支撐板(4)的內部均向頂端延伸，第一鍍金鎢絲靶(5)和第三鍍金鎢絲靶(7)在氮化鋁陶瓷支撐板(4)的內部呈交叉設置，且第一鍍金鎢絲靶(5)、第二鍍金鎢絲靶(6)和第三鍍金鎢絲靶(7)在氮化鋁陶瓷支撐板(4)的內部交叉呈“*”型的空間異面結構；

所述第一鍍金鎢絲靶(5)與第二鍍金鎢絲靶(6)之間的夾角以及第三鍍金鎢絲靶(7)與第二鍍金鎢絲靶(6)之間的夾角均為α，且α的角度在15至75度之間；

該交叉多絲探針的使用方法具體步驟如下：

步驟一：所述傳動座(1)帶動輔助支撐架(3)轉動，運動中通過第一鍍金鎢絲靶(5)、第二鍍金鎢絲靶(6)和第三鍍金鎢絲靶(7)發射電子，得到束流信號，同時檢測第一信號線(8)、第二信號線(9)和第三信號線(10)在運動過程中的相對信號強弱；

步驟二：根據檢測的信號強弱，實現束流位置和二維剖面的測量，使用中保持第一鍍金鎢絲靶(5)與第二鍍金鎢絲靶(6)之間的夾角以及第三鍍金鎢絲靶(7)與第二鍍金鎢絲靶(6)之間的夾角均在15至75度之間。

2.根據權利要求1所述的一種用于離子束束流流強和位置測量的交叉多絲探針，其特征在于，所述氮化鋁陶瓷支撐板(4)呈“U”型設置，且氮化鋁陶瓷支撐板(4)的上下兩端與第一鍍金鎢絲靶(5)、第二鍍金鎢絲靶(6)和第三鍍金鎢絲靶(7)的連接處均設置有通孔，且第一鍍金鎢絲靶(5)、第二鍍金鎢絲靶(6)和第三鍍金鎢絲靶(7)利用通孔貫穿固定連接氮化鋁陶瓷支撐板(4)。

3.根據權利要求1所述的一種用于離子束束流流強和位置測量的交叉多絲探針，其特征在于，所述第一信號線(8)、第二信號線(9)和第三信號線(10)的外層套裝有聚酰亞胺包裹的屏蔽雙絞線。

4.根據權利要求1所述的一種用于離子束束流流強和位置測量的交叉多絲探針，其特征在于，所述氮化鋁陶瓷支撐板(4)與輔助支撐架(3)的連接處安裝有聚酰亞胺墊層，輔助支撐架(3)采用鋁合金材料制作。