[發明專利]用于清洗過濾器的自動清洗設備、控制系統及控制方法

在審

• 申請號: 201811591214.5
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109432882A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 蒲健;朱建海;陳軍;姚志偉;李本功
• 申請（專利權）人: 聚燦光電科技股份有限公司
• 主分類號: B01D41/00
• 分類號: B01D41/00
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 姚錦程

1.一種用于清洗過濾器的自動清洗設備，所述過濾器用于MOCVD，其特征在于；所述自動清洗設備包括：

容納堿液的堿液槽；

容納清水的清水槽；

循環泵，所述自動清洗設備具有兩個工作狀態，第一工作狀態時，所述循環泵將所述堿液槽內的堿液灌入所述過濾器內，并將經過所述過濾器后的堿液循環到所述堿液槽內；第二工作狀態時，所述循環泵將所述清水槽內的水灌入到所述過濾器內，并將經過所述過濾器后的水循環到所述堿液槽內。

2.根據權利要求1所述的自動清洗設備，其特征在于，所述自動清洗設備還包括接入所述過濾器的加熱系統，當所述過濾器被堿液和水清洗過后，所述加熱系統提供用于吹掃所述過濾器的加熱壓縮空氣。

3.根據權利要求2所述的自動清洗設備，其特征在于，所述堿液和加熱壓縮空氣可被擇一地從同一個入口進入到所述過濾器。

4.根據權利要求3所述的自動清洗設備，其特征在于，所述堿液包含氫氧化鈉、過氧化氫和水，所述氫氧化鈉與水之間的比例為5％～95％，所述過氧化氫與水的比例為5％～95％，。

5.根據權利要求4所述的自動清洗設備，其特征在于，所述堿液中水∶氫氧化鈉∶過氧化氫＝4∶1∶1。

6.根據權利要求5所述的自動清洗設備，其特征在于，所述堿液槽中設有濾芯。

7.根據權利要求1所述的自動清洗設備，其特征在于，所述自動清洗設備還包括排水容器，所述循環泵可選擇地能將所述堿液槽的堿液排出到所述排水容器中。

8.根據權利要求1所述的自動清洗設備的控制系統，其特征在于；所述控制系統包括控制單元、與所述控制單元相連接的復數個控制閥，所述復數個控制閥分別被控制于不同的模式，以使所述自動清洗設備處于第一工作狀態或第二工作狀態。

9.根據權利要求8所述的控制系統，其特征在于，所述控制系統還包括設于所述堿液槽并與所述控制單元電連接的液位感應器。

10.根據權利要求8所述的控制系統，其特征在于，所述控制系統還包括設置于所述堿液槽內的加熱棒和溫度傳感器，所述加熱棒和溫度傳感器均與所述控制單元電連接，以將所述堿液槽內堿液的溫度控制于20℃～80℃。

11.根據權利要求8所述的控制系統的控制方法，其特征在于，所述控制單元包括繼電器和定時器，所述控制方法依次包括如下步驟：

a、所述定時器定義了第一預設時間范圍，首先所述控制單元控制所述復數個控制閥，在所述第一預設時間范圍內，使所述循環泵將所述堿液槽內的堿液灌入所述過濾器內，并將經過所述過濾器后的堿液循環到所述堿液槽內；

b、所述定時器定義了第二預設時間范圍，所述控制單元控制所述復數個控制閥，以使所述自動清洗設備變換至第二工作狀態，在所述第二預設時間范圍內，所述循環泵將所述清水槽內的水灌入到所述過濾器內，并將經過所述過濾器后的水循環到所述堿液槽內。

12.根據權利要求11所述的控制系統的控制方法，其特征在于，所述自動清洗設備還包括接入所述過濾器的加熱系統，所述步驟a和b之后還包括如下步驟：所述加熱系統將加熱壓縮空氣吹入所述過濾器。