[發明專利]一種微納金剛石薄膜的制備方法

在審

• 申請號: 201811589237.2
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109487251A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 栗軍帥;郭鑫;李亞麗
• 申請（專利權）人: 蘭州大學
• 主分類號: C23C20/06
• 分類號: C23C20/06
• 代理公司: 北京清誠知識產權代理有限公司 11691
• 代理人: 喬東峰

1.一種微納金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，由以下步驟組成，

步驟一：將含碳固相前驅物的溶液、粉體、膠狀物涂覆于具有催化作用的襯底上并干燥；

步驟二：將涂覆有含碳固相前驅體的襯底置于管式爐中，在惰性氣體的保護下，升高爐內溫度，使爐內溫度達到生長溫度700-1000℃，通過將生長溫度控制在30-180min，實現微納金剛石薄膜的可控制備；

所述含碳固相前驅物為葡萄糖、脲素、苯胺的一種或兩種、三種的組合。

2.根據權利要求1所述的一種微納金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟一包括以下步驟：

將具有催化作用的襯底進行超聲清洗，除去不銹鋼襯底表面上的有機無機雜質，然后使用氮氣吹干備用；

將含碳固相前驅物涂覆在干燥后具有催化劑的襯底表面，然后將其放置在真空干燥箱中，60℃干燥30min后置入管式爐中。

3.根據權利要求2所述的一種微納金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，所述襯底依次在丙酮、乙醇、去離子水清洗溶液中進行超聲清洗1-30min；

首先在丙酮溶液中超聲清洗30min；其次在乙醇溶液中清洗30min；最后在去離子水溶液中超聲清洗15min。

4.根據權利要求1所 述的一種微納金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟二包括以下步驟：

將涂覆在鍍有催化劑的襯底表面的含碳前驅物置于管式爐中，抽空管式爐中的空氣，通入惰性氣體。

5.根據權利要求1所述的一種微納金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，升高爐內溫度時，升溫速率為5–20℃/min。

6.根據權利要求1所述的一種微納金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，所述襯底為304不銹鋼片或鎳、銅、硅基體。