[發(fā)明專利]切削刀具的修整方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811588982.5
• 申請(qǐng)日: 2018-12-25
• 公開（公告）號(hào): CN109968112B
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小松淳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B24B3/36
• 分類號(hào): B24B3/36;B24B41/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

提供簡(jiǎn)單的切削刀具的修整方法，能夠減少切削刀具的前端的圓角區(qū)域，并且節(jié)約修整板。該切削刀具的修整方法具有如下的步驟：第1切削步驟，使切削刀具以不超過圓角區(qū)域在切削刀具的半徑方向上的長度的切入深度切入到保持于卡盤工作臺(tái)的保持面的修整板中，使卡盤工作臺(tái)與切削刀具在與保持面平行且與主軸的軸心垂直的方向上相對(duì)移動(dòng)，從而在修整板上形成切削槽；以及第2切削步驟，進(jìn)一步使切削刀具以不超過圓角區(qū)域在切削刀具的半徑方向上的長度的切入深度切入到通過第1切削步驟形成的切削槽的槽底，使卡盤工作臺(tái)與切削刀具在與保持面平行且與主軸的軸心垂直的方向上相對(duì)移動(dòng)，從而照著切削槽對(duì)槽底實(shí)施切削。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及切削半導(dǎo)體晶片等被加工物的切削刀具的修整方法。

背景技術(shù)

在將以半導(dǎo)體晶片為代表的板狀的被加工物分割成多個(gè)芯片時(shí)，例如使用具有環(huán)狀的切削刀具的切削裝置。一邊使高速旋轉(zhuǎn)的切削刀具相對(duì)于被加工物切入，一邊使切削刀具與被加工物相對(duì)移動(dòng)，從而能夠沿著該移動(dòng)路徑對(duì)被加工物進(jìn)行切削。

在使用切削刀具對(duì)被加工物進(jìn)行切削之前，通過將切削刀具切入到修整板中而將切削刀具的形狀調(diào)整(整形、修圓)為與作為旋轉(zhuǎn)軸的主軸呈同心狀，并且，實(shí)施用于消除刃尖的結(jié)渣和變鈍等(磨光)的修整。由此，切削刀具的前端的帶有圓角的形狀等被修正，能夠?qū)嵤┻吘壭拚庸さ刃枰旅艿那邢鞯墓ば?。邊緣修整加工是如下的方法：在?duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行磨削而薄化之前對(duì)半導(dǎo)體晶片的外周部進(jìn)行切削，從而防止在磨削加工后外周部成為尖銳的刀口形狀。

對(duì)于修整，提出了各種方法。例如在專利文獻(xiàn)1中記載有如下的方法：通過使切削刀具進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并且使切削刀具在與其旋轉(zhuǎn)軸平行的方向上移動(dòng)而對(duì)修整板進(jìn)行切削，從而將切削刀具整形為扁平。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-588號(hào)公報(bào)

在修整時(shí)，由于切削刀具向修整板切入得越深，切削刀具的前端的磨損越大，因此該前端向具有曲面的形狀變化，容易在切削刀具的前端產(chǎn)生帶有圓角的區(qū)域(以下，也稱作圓角區(qū)域)。因此，通過反復(fù)進(jìn)行使切削刀具較淺地切入修整板而進(jìn)行切削的工序，能夠抑制因修整導(dǎo)致的圓角區(qū)域的產(chǎn)生。

然而，在一個(gè)切削刀具的修整中所用的切削次數(shù)越多，修整板被切削的面積會(huì)越大。即，存在如下問題：如果想要增加切削工序以抑制圓角區(qū)域的產(chǎn)生，則需要較多的修整板。

另外，為了減少圓角區(qū)域而獲得扁平的切削刀具，也可以實(shí)施像專利文獻(xiàn)1所記載的那樣的特殊的修整。然而，專利文獻(xiàn)1所記載的方法使用了使切削刀具在與其旋轉(zhuǎn)軸平行的方向上移動(dòng)這一特殊的方法。為了使切削裝置進(jìn)行這樣的動(dòng)作，需要引入新的軟件和機(jī)構(gòu)，存在成本增加的問題。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述問題點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供能夠減少切削刀具的前端的圓角區(qū)域并且能夠節(jié)約修整板的簡(jiǎn)單的切削刀具的修整方法。

根據(jù)本發(fā)明，提供切削刀具的修整方法，利用安裝于主軸的切削刀具對(duì)板狀的修整板進(jìn)行切削而對(duì)該切削刀具進(jìn)行整形，以減少該切削刀具的前端的圓角區(qū)域，其中，該切削刀具的修整方法具有如下的步驟：第1切削步驟，使該切削刀具以不超過該圓角區(qū)域在該切削刀具的半徑方向上的長度的切入深度切入到保持于卡盤工作臺(tái)的保持面的該修整板中，使該卡盤工作臺(tái)與該切削刀具在與該保持面平行且與該主軸的軸心垂直的方向上相對(duì)移動(dòng)，從而在該修整板上形成切削槽；以及第2切削步驟，進(jìn)一步使該切削刀具以不超過該圓角區(qū)域在該切削刀具的半徑方向上的長度的切入深度切入到通過該第1切削步驟形成的該切削槽的槽底，使該卡盤工作臺(tái)與該切削刀具在與該保持面平行且與該主軸的軸心垂直的方向上相對(duì)移動(dòng)，從而照著該切削槽對(duì)該槽底實(shí)施切削。

優(yōu)選該切削刀具的修整方法還具有如下的判定步驟：對(duì)實(shí)施了該第2切削步驟后的該切削刀具的該圓角區(qū)域的形狀進(jìn)行測(cè)定，在該圓角區(qū)域的形狀滿足規(guī)定的條件的情況下判定為結(jié)束該切削刀具的整形，在該圓角區(qū)域的形狀不滿足該規(guī)定的條件的情況下判定為實(shí)施該第1切削步驟或該第2切削步驟。