[發明專利]真空鍍膜流片傳遞裝置及其傳遞方法與應用

在審

• 申請號: 201811587603.0
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109594054A
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 黃穩;武啟飛;廖良生;徐飛;趙平
• 申請（專利權）人: 蘇州方昇光電股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 蔣慧妮

1.一種真空鍍膜流片傳遞裝置，其特征在于：包括傳遞室、設置于傳遞室內的傳輸組件及與所述傳輸組件傳動連接的驅動機構；所述傳遞室的側壁上開設有傳遞窗，所述傳遞室通過各所述傳遞窗分別與不同的功能室連通；

所述驅動機構包括水平驅動組件和旋轉驅動組件；所述旋轉驅動組件與所述傳輸組件傳動連接，用于周向轉動所述傳輸組件，以調整傳輸組件的傳輸方向；

所述傳輸組件包括承載支架、傳輸軸和傳輸輪，所述傳輸輪通過傳輸軸設置于所述承載支架上，所述傳輸輪設置有一個以上，所述傳輸輪與所述水平驅動組件同步傳動連接。

2.如權利要求1所述的真空鍍膜流片傳遞裝置，其特征在于：所述旋轉驅動組件包括第一電機、與第一電機輸出軸傳動連接的磁流體密封件，所述磁流體密封件的一端與所述傳輸組件連接。

3.如權利要求2所述的真空鍍膜流片傳遞裝置，其特征在于：所述傳輸組件還包括固定連接于所述傳輸軸上的同步輪及連接于各所述同步輪之間的傳輸帶，所述同步輪通過傳輸帶同步傳動。

4.如權利要求3所述的真空鍍膜流片傳遞裝置，其特征在于：所述水平驅動組件包括第二電機，與第二電機輸出軸連接的驅動輪，所述驅動輪通過傳動帶與同步輪傳動連接。

5.如權利要求4所述的真空鍍膜流片傳遞裝置，其特征在于：所述磁流體密封件包括軸套及轉軸，所述轉軸的一端與所述傳輸組件連接，另一端與第一電機傳動連接，所述轉軸內設置有中空腔體，所述驅動輪及傳動帶設置在所述中空腔體內，所述第二電機固定設置在所述轉軸上。

6.如權利要求1所述的真空鍍膜流片傳遞裝置，其特征在于：所述承載支架的兩側設置有相互對應的第一限位組件，相對設置的兩個第一限位組件間的距離與所述樣品的寬度相當，所述第一限位組件設置于相鄰傳輸輪之間。

7.如權利要求1所述的真空鍍膜流片傳遞裝置，其特征在于：所述傳遞室的側壁上設置有第二限位組件，所述第二限位組件相對設置在傳遞窗的兩側。

8.如權利要求1所述的真空鍍膜流片傳遞裝置，其特征在于：所述傳遞室底部設置有用于支撐所述樣品的傳遞支撐輪，所述傳遞支撐輪分別設置于傳遞窗下方。

9.真空鍍膜生產線，其特征在于：包括至少一個如權利要求1-8任意一項所述的真空鍍膜流片傳遞裝置，還包括多個功能室，所述多個功能室為依次連接的基片掩膜的貼合室、第一有機蒸鍍室、第一傳輸過渡室、第二有機蒸鍍室、基片掩膜的分離室及第二傳輸過渡室，所述貼合室與分離室之間通過第二傳輸過渡室首尾相接形成環形結構，所述真空鍍膜流片傳遞裝置中的傳遞室設置于任意兩個所述功能室之間。

10.如權利要求1-8中任意所述的真空鍍膜流片傳遞裝置或9所述的真空蒸鍍生產線的樣品傳遞方法，其特征在于：其傳遞方法包括如下步驟，

S1、啟動所述旋轉驅動組件，調整傳輸組件的傳輸方向，使之與待傳遞樣品的傳遞窗相對應；

S2、將待傳遞的樣品從傳遞室一側通過傳遞窗進入傳遞室，并使樣品支撐在傳輸輪上；

S3、啟動水平驅動組件，驅動傳輸輪運轉，所述傳輸輪帶動所述樣品達到旋轉操作位置；

S4、旋轉驅動組件驅動傳輸組件旋轉預定角度；

S5、水平驅動組件驅動傳輸輪繼續傳輸，直至樣品傳出傳遞裝置。