[發明專利]一種共蒸發系統及檢測方法

在審

• 申請號: 201811584456.1
• 申請日: 2018-12-24
• 公開（公告）號: CN111349891A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 徐義;岳志遠
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06;H01L31/18;H01L21/67;G01B7/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 朱靜謙

本發明涉及設備檢測技術領域，具體涉及一種共蒸發系統及其檢測方法。其中，包括蒸鍍室，用于承載被蒸鍍對象的載具，設于所述蒸鍍室內，用于運送所述載具的傳輸裝置，設置在傳輸裝置的傳輸路徑上的至少一對電容極板，與所述電容極板連接的電容信號控制器，對所述電容極板充電，并檢測所述載具穿過電容極板間時電容極板間電容值的變化，然后根據電容值的變化判斷所述載具所處位置。采用電容信號的方式來監測CIGS運行中的載具位置信號，相比較傳統手段非常難被損壞，且電容極板的監測不易受蒸鍍腔室粉塵的影響。

技術領域

本發明涉及設備檢測技術領域，具體涉及一種共蒸發系統及檢測方法。

背景技術

CIGS太陽能電池薄膜，由Cu(銅)、In(銦)、Ga(鎵)、Se(硒)四種元素構成最佳比例的黃銅礦結晶太陽能電池薄膜，其可采用共蒸發系統進行制備。其具有光吸收能力強，發電穩定性好、轉化效率高，白天發電時間長、發電量高、生產成本低以及能源回收周期短等優點。

現有的CIGS共蒸發設備的結構如圖1所示，CIGS共蒸發設備1內具有含有大量蒸鍍粉塵的高溫內部空間11，共蒸發設備1內具有傳輸裝置2，載具3承載玻璃沿部件傳輸方向進行輸送，并且經由對射式光電傳感器組件4對載具3的傳輸位置進行檢測，當載具3經過光電傳感器時，對射光線被阻斷，產生信號。而現有的光電傳感器組件4通過石英棒傳輸光電信號，其存在以下缺陷：

1.石英棒在蒸鍍腔室內容易受雜質干擾，雜質附著在石英棒表面容易干擾對射信號，隨著生產進行，石英末端逐漸被CIGS粉塵附著，透光率下降，造成信號不穩定甚至信號異常；

2.光電信號在蒸鍍環境下受蒸鍍云層影響，需要定期清理發生裝置；

3.石英結構容易受損，破碎后需要更換，產生大量備件。

發明內容

因此，本發明要解決的技術問題在于克服現有技術中光電傳感器組件的缺陷，從而提供一種共蒸發系統及檢測方法。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案如下：

本發明提供了一種共蒸發系統，包括：

蒸鍍室；

載具，用于承載被蒸鍍對象；

傳輸裝置，設于所述蒸鍍室內，用于運送載有被蒸鍍對象的所述載具；

至少一對電容極板，其設置在傳輸裝置的傳輸路徑上的預設位置處；所述載具可在所述電容極板間穿過；

電容信號控制器，其與所述電容極板連接，對所述電容極板充電，并檢測所述載具穿過電容極板間時電容極板間電容值的變化，然后根據電容值的變化判斷所述載具所處位置。

上述共蒸發系統中，所述載具包括矩形金屬框架；

所述矩形金屬框架包括：

橫支撐梁，沿所述矩形金屬框架的兩寬邊分別設有一根；

縱支撐梁；沿所述矩形框架的兩長邊分別設有一根，且所述縱支撐梁與所述傳輸裝置傳動連接。

所述電容極板為兩對，兩根所述縱支撐梁分別在兩對上述電容極板間穿過。進一步地，兩對所述電容極板相對于所述載具沿所述部件傳輸方向的軸線對稱設置。

上述共蒸發系統中，所述電容信號控制器包括：

整流電路，與所述電容極板連接，用于將所述電容極板變化的電容信號轉換為DC電壓信號；

信號放大器，與所述整流電路連接，用于將所述DC電壓信號放大；

信號模擬電路，與所述信號放大器連接，用于判斷放大的DC電壓信號是否大于第一閾值，若大于第一閾值，輸出放大的DC電壓信號，用于判斷所述載具所處的位置。