[發(fā)明專利]載板和鍍膜設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811583129.4
• 申請日: 2018-12-24
• 公開（公告）號: CN109628905A
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 沈良
• 申請（專利權(quán)）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;杜丹丹

本公開提供一種載板和鍍膜設(shè)備，所述載板上設(shè)置有至少一個鏤空槽，每個所述鏤空槽內(nèi)均設(shè)置有支撐構(gòu)件以使得待加工部件能夠放置在所述鏤空槽內(nèi)。應(yīng)用本公開所述載板及鍍膜設(shè)備在鍍膜過程中無需翻轉(zhuǎn)硅片，也就無需重復(fù)破真空，從而避免硅片在鍍膜過程中受空氣暴露影響，減少了硅片受污染的幾率，而且改善了因現(xiàn)有制備雙面太陽能電池片工序繁瑣而帶來的電池片制備效率低下、電性能不良等問題，不僅能改善電池片的膜層質(zhì)量，還能減少電池片制備時間，從而提高工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及鍍膜工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于鍍膜加工的載板，以及一種鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

受到現(xiàn)有鍍膜載板結(jié)構(gòu)的限制，鍍膜設(shè)備生產(chǎn)雙面太陽能電池片時所采用的鍍膜工藝為單面鍍膜工藝。具體地，鍍膜設(shè)備包括多個腔室，其中每個腔室頂部均設(shè)置有相應(yīng)的靶材，相鄰腔室間由真空門隔開，腔室外設(shè)置有自動翻片機。當(dāng)硅片在一個腔室內(nèi)鍍上相應(yīng)膜層后，需要打開真空門以破真空，再通過自動翻片機將硅片翻轉(zhuǎn)并放入相鄰下一腔室內(nèi)，然后對該相鄰下一腔室抽真空處理，并鍍上相應(yīng)膜層，以此類推，直至雙面太陽能電池片制備完成。

可以看出，現(xiàn)有雙面太陽能電池片的制備工藝中，為了翻轉(zhuǎn)硅片而需要重復(fù)破真空，使得硅片在整個制程頻繁受空氣暴露影響；而且，不同膜層間的沉積因其本身的化學(xué)特性，必須往復(fù)翻片后按序制備，繁雜且耗時長，由此極易導(dǎo)致硅片表面出現(xiàn)機械損傷或者受污染。

發(fā)明內(nèi)容

為了至少部分解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的為翻轉(zhuǎn)硅片而重復(fù)破真空的技術(shù)問題而完成了本公開。

解決本公開技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

本公開提供一種載板，用于鍍膜加工，所述載板上設(shè)置有至少一個鏤空槽，每個所述鏤空槽內(nèi)均設(shè)置有支撐構(gòu)件以使得待加工部件能夠放置在所述鏤空槽內(nèi)。

本公開中，各個硅片(或者其他類型的基板)分別放入載板內(nèi)的各個鏤空槽內(nèi)之后，因受到鏤空槽內(nèi)支撐構(gòu)件的支撐而不會從鏤空槽中掉出，同時還能使硅片的上、下表面的絕大部分露出，則利用該載板制備雙面太陽能電池片時，可采用雙面鍍膜工藝，無需翻轉(zhuǎn)硅片和重復(fù)破真空，就能在一個鍍膜腔室里完成硅片的雙面鍍膜，即在硅片的上、下表面鍍上所需材質(zhì)和厚度的膜層。可以看出，由于在鍍膜過程中無需翻轉(zhuǎn)硅片，也就無需重復(fù)破真空，從而避免硅片在鍍膜過程中受空氣暴露影響，減少了硅片受污染的幾率，而且改善了因現(xiàn)有制備雙面太陽能電池片工序繁瑣而帶來的電池片制備效率低下、電性能不良等問題，不僅能改善電池片的膜層質(zhì)量，還能減少電池片制備時間，從而提高工作效率。

可選地，所述支撐構(gòu)件是從所述鏤空槽內(nèi)壁并向所述鏤空槽中心延伸的突出部。

可選地，所述突出部為設(shè)置在所述鏤空槽內(nèi)壁底部的臺階狀構(gòu)件。

可選地，所述臺階狀構(gòu)件包括與所述鏤空槽的內(nèi)壁相接的過渡面，以及與所述過渡面相接的斜坡面；所述斜坡面向接近于所述鏤空槽中心的方向延伸。

可選地，所述載板包括外邊框，以及設(shè)置在所述外邊框內(nèi)部的多個橫條和多個縱條；所述多個橫條和所述多個縱條交叉設(shè)置以形成所述多個鏤空槽。

可選地，所述外邊框、所述多個橫條和所述多個縱條一體成型；或者，所述橫條的兩端分別與所述外邊框的兩個相對內(nèi)壁活動連接，所述縱條的兩端分別與所述外邊框的另外兩個相對內(nèi)壁活動連接，每個所述橫條和與之交叉的所述縱條活動連接。

可選地，所述載板包括外邊框，以及設(shè)置在所述外邊框內(nèi)部的多個縱條；所述外邊框與所述多個縱條分隔成所述多個鏤空槽。

可選地，所述外邊框和所述多個縱條一體成型；或者，

所述縱條的兩端分別與所述外邊框的兩個相對內(nèi)壁活動連接。